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發(fā)布時(shí)間:2020-12-29 08:28  
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淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良,并有完善的質(zhì)量管理體系,可為用戶設(shè)計(jì)、制造不同類型的真空泵、水泵及設(shè)備機(jī)組。
關(guān)泵。
水環(huán)真空泵要停泵時(shí),應(yīng)先關(guān)閉真空泵吸氣管路上的閥門,防止真空泵停泵后恢復(fù)常壓狀態(tài),所吸的容器還是負(fù)壓狀態(tài)時(shí),水箱出現(xiàn)回水現(xiàn)象。關(guān)閉進(jìn)水閥門后關(guān)閉電機(jī),這樣是為了把真空泵泵腔里的水排出一部分,避免下次水環(huán)真空泵啟動(dòng)時(shí),泵腔內(nèi)水過(guò)多而造成電機(jī)的啟動(dòng)負(fù)荷過(guò)大。
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上游的吸附劑雖然在裝填時(shí)通過(guò)篩選等步驟去掉了大部分粉塵,但是隨著運(yùn)行時(shí)間的增加和介質(zhì)氣流的沖刷,總會(huì)或多或少地產(chǎn)生新粉塵,而進(jìn)入水環(huán)式真空泵內(nèi)的粉塵隨時(shí)可能進(jìn)入機(jī)封的密封部位,對(duì)其造成損傷。
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定期清洗真空泵及其他附件、過(guò)濾、管道,避免超壓:
半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí),抽取介質(zhì)過(guò)程中經(jīng)過(guò)反應(yīng)室與真空泵,其成分可能極為復(fù)雜,如SiH4與O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解會(huì)形成HCl;假設(shè)是油封式機(jī)械泵,這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì),就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng),影響真空泵性能,造成壓力上升或超壓,一點(diǎn)中提到的危險(xiǎn)性也更大。所以需要及時(shí)的清洗,并在必要的時(shí)候設(shè)置過(guò)濾設(shè)備。
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