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              發(fā)布時(shí)間:2020-12-29 08:04  

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              通風(fēng)系統(tǒng)采用PLC控制設(shè)計(jì),即風(fēng)量根據(jù)通風(fēng)柜的使用數(shù)量手動進(jìn)行有級調(diào)節(jié),但實(shí)驗(yàn)人員嫌操作麻煩,經(jīng)常不關(guān)閉空閑通風(fēng)柜的調(diào)節(jié)門,也不手動進(jìn)行風(fēng)量調(diào)節(jié),導(dǎo)致通風(fēng)柜的操作面風(fēng)速變化很大,在通風(fēng)柜調(diào)節(jié)門開度均為0.3m/s~0.5m/s,比較正常,但開度均變小時(shí)可2m/s。風(fēng)速過高導(dǎo)致亂流,部分有害氣體被亂流帶出通風(fēng)柜進(jìn)入房間,房間刺激性氣味彌漫,危害人員的健康。



              表面粗糙度和耐磨性

              為了確保輸送的氣體純凈度,要求管道材料內(nèi)表面有一個(gè)極高的光潔度,這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留,可以在吹掃時(shí)比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨,可以在氣流高速沖刷下,產(chǎn)生的金屬粒子就少,不銹鋼比銅管產(chǎn)生粒子要少,所以不銹鋼管耐磨性優(yōu)于鋼管。

              抗腐蝕性

              微電子生產(chǎn)中,經(jīng)常使用一些腐蝕性很強(qiáng)的氣體,這時(shí)必須采用耐腐蝕的管材,否則管道會被腐蝕,輕則表面產(chǎn)生銹斑,重則管道大面積剝落、穿孔,不但污染氣體,還會發(fā)生危險(xiǎn)事故。



              4N氮?dú)飧删€采用OD3/8(6.35mm)管道。在0.5Mpa壓力下,流量可達(dá)8m3/h,完全滿足常規(guī)用氣要求。支線采用OD1/4(6.35mm)管道。焊接用于向設(shè)備供氣。

              5N氮?dú)狻⒑饧邦A(yù)留氣管道采用OD1/4(6.35mm)管道,支線采用OD1/4(6.35mm)管道。焊接用于向設(shè)備供氣。

              當(dāng)集中供氣系統(tǒng)管道通過障礙物時(shí),應(yīng)使用管套和不可燃材料填充間隙。




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