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發(fā)布時間：2020-11-08 07:08
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廠區(qū)環(huán)境的清潔要求是什么?
廠區(qū)環(huán)境的清潔要求是什么？ 1）生產(chǎn)區(qū)、生活區(qū)、輔助區(qū)分開，物流分開。 2）廠區(qū)內(nèi)的清潔設(shè)備要清潔、曉暢，無堵塞物及排泄物，由專人及時打掃、消毒。 3）廠內(nèi)車輛及其他物品須放在規(guī)則區(qū)域，不得在其他當(dāng)?shù)厝我舛逊e。 4）廠區(qū)環(huán)境清潔規(guī)整，無雜草和積水、無蚊蠅孳，空氣質(zhì)量契合國家規(guī)則的大氣標(biāo)準。 5）生產(chǎn)區(qū)內(nèi)無廢物和廢物，廠區(qū)外的廢物站有必要遠離生產(chǎn)區(qū)，有隔離消毒辦法，并及時清運，不對廠區(qū)環(huán)境形成污染。
常用的水冷式螺桿式冷水機組
潔凈室的冷熱源機組： 桿式冷水機組 螺桿式冷水機組是由螺桿式制冷壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器、熱力膨脹閥、油分離器、自控元件和儀表等組成的一個完整的制冷系統(tǒng)。常用的水冷式螺桿式冷水機組冷凝器進出水溫分別設(shè)置為32℃、37℃，蒸發(fā)器出口冷凍水溫度設(shè)置為7度，冷量范圍為580～1163kW。 離心式冷水機組 離心式冷水機組是由離心式制冷壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器、節(jié)流機構(gòu)和調(diào)節(jié)機構(gòu)以及各種控制元件組成的整體機組。離心式冷水機組的制冷量較大，常用的水冷式離心式冷水機組冷凝器進出水溫分別設(shè)置為32℃、37℃，蒸發(fā)器出口冷凍水溫度設(shè)置為7度，單機容量通常在1163kW以上，所以，離心式冷水機組一般用于大型中央空調(diào)系統(tǒng)。 在潔凈工程技術(shù)水平上，80年代末期，國外已大量建成0.1微米級的超凈室，1987年日本三洋新瀉工場建成十級潔凈廠房3000平方米，NIT原木則建成了四個1000平方米控制0.1微米塵埃的千級廠房，換氣次數(shù)高達300次/分。美國在臺灣的TSMCS新廠已建成第四代管道式潔凈室總面積達10000平方米。
潔凈級別6級和7級是比較常見的,我們選用了這兩個級別
通過對歷年工程實例的統(tǒng)計，在電了廠房的設(shè)計中，潔凈級別6級和7級是比較常見的，因此我們選用了這兩個級別作為本次實驗的模擬環(huán)境，并區(qū)分采用過濾器和采用FFU方案，在選用外資、合資與國內(nèi)品牌產(chǎn)品的情況，進行模擬。為了區(qū)別紛繁復(fù)雜的實際情況，我們對模擬對象進行了適當(dāng)簡化，實驗的基本情況如下： (1)本次模擬對象為約3300平方米的普通電子潔凈室。潔凈室具體情況見圖1和圖2。 （2） 終端設(shè)備采用兩種方案進行設(shè)計：方案1采用過濾器；方案2采用 FFUO （3） 計算范圍：本次計算的工程量僅含潔凈室冷凍供應(yīng)系統(tǒng)及空調(diào)凈化系統(tǒng)的設(shè)備及安裝材料（風(fēng)管、閥門、風(fēng)口）等，不包括潔凈室配套的土建裝飾、照明、控制等費用。
我國使用的0
我國使用的0.1微米十級潔凈室主要依賴從國外進口。由于高潔凈級別的潔凈室造價十分昂貴，0.1微米十級潔凈室每平方米造價高達1萬美元以上。在大規(guī)模集成電路制造裝備的投資中潔凈廠房占有相當(dāng)高的比例，這與集成電路工藝不斷更新，產(chǎn)品更新?lián)Q代周期越來越快的發(fā)展趨勢不相適應(yīng)，嚴重制約了大規(guī)模集成電路技術(shù)的發(fā)展。美國ASYST公司、德國MW公司發(fā)展的使用隔離技術(shù)的亞微米生產(chǎn)微環(huán)境系統(tǒng)設(shè)備和技術(shù)在近幾年中得到廣泛采用。該項的潔凈技術(shù)在100級潔凈度的潔凈廠房中，采用工藝設(shè)備局部使用隔離技術(shù)的微環(huán)境，把投資比例壓縮到別的微環(huán)境，消除了操作者與工藝設(shè)備運行的二次污染源產(chǎn)生對集成電路成品率和可靠性的影響作用。
