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當泵在使用過程中出現了各種各樣的故障，要進行維修時，一定要先探清故障的原因，損壞了那些部件，主要部件還是耗材，主部件磨損小，那經過更換耗材，修整部件，經過專業組裝調試，泵的工作狀態還能達到新泵的90%以上，這樣的泵維修價值高，要是主部件損壞嚴重，更換再好的耗材都提高不了泵的運行狀態，這樣的泵就沒有維修的價值，修過狀態不好，使用不了多久，這種情況就跟客戶說明，不要為了收維修費而強行維修，這樣給客戶造成經濟損失。

在真空泵使用中，由于各種原因產生異常現象或發生故障后，除迫不得已，不應拆開整個泵浦；在未加分析或不明用途、原理情況下更不應拆卸泵浦。一般應首先試用調整的方法解決問題。若不能湊效，才可考慮拆解修理或更換零部件，并且應由專業人員進行。在拆解泵浦的過程中，應注意如下細節：

1、拆解拆卸的工作場所一定要保持清潔，在凈化車間內進行。

2、在真空泵維修時，要完全清楚泵浦中的潤滑油，同時還要考慮好如何處理廢真空泵油的回收，并把真空泵油排除干凈。

3、泵浦拆卸時要用適當的工具，以免損壞零件等。

4、拆卸時，個泵浦零件需妥善放好，并加以標示，以便組裝。

隔膜真空泵往復真空泵靠活塞桿反復運動使泵腔（汽缸）的工作中容量周期性地轉變來抽真空的機械泵，又被稱為活塞桿機械泵。往復真空泵的構造與往復式活塞桿制冷壓縮機類似。工作中時，呼吸管接被真空包裝器皿，排汽管直達空氣。往復真空泵可用以真空泵水蒸氣蒸餾、真空泵萃取、真空泵結晶體、真空抽濾、真空干燥機和混泥土真空泵工作等。

3爪式機械泵爪式機械泵（干式真空泵檢修）由多級別電機轉子組成，在其中每個級別都是有兩個電機轉子組成，2個電機轉子反向轉動，呼吸口與泵腔接入，泵腔容量增大而呼吸，當電機轉子關掉呼吸口時呼吸完畢，之后泵腔縮小而縮小汽體，當出氣口開啟后泵腔排氣管，出氣口關掉的時候排氣管結束，這般循環系統工作中。

　普旭真空泵維修時若是發現泵油污染，需要換油；泵內濾油器堵塞，導致油路不暢，壓縮噴油系統供油不足，導致泵體密封不嚴。此時，需要清潔內部機油濾清器。普旭真空泵維修時發現達不到極限真空度，可能是由于分油器閥門變形、磨損或損壞，也可能導致供油不足。在這種情況下，應檢查并更換機油分配器的閥門。 　　

真空泵的長期使用將導致旋轉盤的磨損或轉子中的彈簧張力不足，這將導致吸入室和排出室之間的隔離不嚴，從而導致真空泵的真空泵吸性能下降。因此在普旭真空泵維修時應更換轉盤和彈簧，并清潔轉子和泵室。檢查排氣閥，看其動作是否失敗，導致排氣不良。如有必要，更換排氣閥。