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              發布時間:2021-01-01 11:46  

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              凈化工程——潔凈室

              潔凈室噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準,目的在于保障操作正常進行,滿足必要的談話聯系及安全舒適的工作環境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標是:

              1.煩惱的效應

              由于噪聲,使人感到不安寧而產生煩惱情緒,一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧,比較吵鬧和極吵鬧7個煩惱等級。凡反應水平屬于很吵鬧和極吵鬧者,即為高煩惱,高煩惱人數在總人數中的百分比即為高煩惱率。



              凈化工程——無塵車間

              所謂的無塵車間是一個人造的環境,里面含有的粒子遠低于一般的環境,隨著集成電路技術的快速成長,也增加了對制造環境(無塵車間)潔靜度的需求,在工業上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。 由于奈米技術的興起,造成半導體關鍵尺寸持續縮小,集成電路積集度不斷的增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動化生產線為最適宜使用。例如當金屬塵粒地落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,可能將其腐蝕,所以無塵車間為集成電路制造不可或缺的要素。




              無塵潔凈室的氣流速度/換氣次數,一直是潔凈室設計中受到關注的問題,隨著潔凈室污染源的控制效果增加及末級過濾器效率的提高等,對有關規范、導則等提 出的推薦或參考值是否偏于保守,已有不少討論;FFU在應用中人們擔心的噪音、損壞維修等問題已在實踐中得到解決,隨著FFU的不斷改進,對是否采用 FFU回風系統也是個熱點:懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業中已日益提到日程上來,受到關注。它集承重、保溫、隔熱、隔音、防火于一體,且無需要二次裝修,安裝快捷方便,施工周期短,綜合效益好,是一種用途廣且極且潛力的gao效建材。以下對這些問題的情況分別作歸納和分析。

                 無塵潔凈室內一定潔凈度下氣流速度的確定,隨潔凈室用途等具體情況而異,它不僅受室內發塵量及過濾器效率還受其他因素影響。



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