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溫濕度

潔凈室或潔凈設施溫、濕度測定，通常分為兩個檔次：一般測試和綜合測試。一個檔次適用于處于空態的交竣驗收測試，二個檔次適用于靜態或動態的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴格的場合。

本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調系統調整之后進行。進行這項檢測時，空調系統已經充分運轉，各項狀況已經穩定。每個濕度控制區至少設置一個濕度傳感器，并且給傳感器充分的穩定時間。全部采樣結束后，將培養皿放于恒溫培養箱中培養，時間不少于48小時，每批培養基應該有對照實驗，檢驗培養基是否污染。所做測量應適合實際使用的目的，待傳感器穩定之后才開始測量，測量時間不少于5分鐘。

懸浮粒子

A、室內測試人員必須穿潔凈服，不得超過2人，應位于測試點下風側并遠離測試點，并應保持靜止。進行換點操作時動作要輕，應減少人員對室內潔凈度的干擾。

B、設備要在校準期內使用。

C、檢測前和檢測后設備“清零”。

D、在單向流區域，所選擇的采樣探頭應接近等動力采樣，進入采樣探頭的風速與被采空氣的風速偏差不應超過20%。若無法做到這一點，將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點，采樣口應豎直向上。

E、采樣口至粒子計數器傳感器的連接管應盡量短。

采樣點一般離地面0.8-1.2m左右，要均勻科學布點，而且要避開回風口。對任何小潔凈室或局部空氣凈化區域，采樣點的數目都不得少于2個，總采樣數可根據面積開2次根求得。

緩沖室：緩沖室結構和風淋室大致相同，主要體現在內外箱體的構成，和尺寸空間方面，它比風淋室主要就少在不帶吹淋，因此內部也沒少了風淋室的主要控制系統和凈化過濾器及風機，它的主要作用就是帶有電子互鎖，緩沖室人員或物料自非潔凈區進入潔凈區的必然通道，其氣壓是自外（非潔凈區）向內（潔凈區）梯度遞增。1C/D區域的空調系統使用最頻繁的C級和D級區域均采用全空氣風道式空調系統。緩沖室的作用有兩個，一個是防止非潔凈區的氣流直接進入潔凈區，有了一個緩沖室就大大降低了這種可能。二個是人員或物料自非潔凈區進入潔凈區時，在緩沖室有一個“擱置”進行自凈（主要是物料），以免進入潔凈區后，對潔凈區造成污染。

對不宜回風的房間，如有熱濕氣體、粉塵等散發的房間，應設置凈化排風系統。制作用設備不可能也不必要進入制作室內，但必須保持干凈，無灰塵。凈化空調系統的回風和排風風量應與送風量匹配，以保證不同潔凈級別的相鄰房間之間壓差≥10 Pa，而對于有壓差梯度要求的相同潔凈級別的相鄰房間之間則要求其壓差≥5 Pa。潔凈區房間內氣流組織形式主要采用頂送側下回（排）的方式。凈化空調系統的空氣處理機組均采用雙層金屬保溫壁板組裝式空調機組，內外壁板均采用彩鋼板。