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發布時間:2021-01-05 13:19  
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用氦氣作為氦質譜檢漏氣體的原因
選擇示漏氣體(示蹤氣體)的原則是:它在空氣中及真空系統中的含量低;檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高;它不會對人員、環境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患;價格低。
質譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體,主要原因如下:
1、氦在空氣中及真空系統殘余氣體中的含量極1少(在空氣中約含5.2ppm),在材料出氣中也很少,因此本底壓力小,輸出的本底電流也小。正因為本底小,由某些原因引起本底的波動,亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反應出來,靈敏度高。
2、氦的質量小(相對分子質量為4),易于穿過漏孔。這樣,氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大,容易發現,靈敏度高。
3、氦是惰性氣體,不與被檢件器壁起化學反應,不會污染被檢件,使用安全。
4、在氦兩側的是氫(質荷比為2)和雙電荷原子碳(質荷比為6),質荷比都與氦相差較大。這樣,它們在分析器中的偏轉半徑相差也大,容易分開,定標找氦峰時,不易受其他離子的干擾,因此就降低了對分析器制造精度的要求,易于加工。同時,分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大,使更多的氦離子通過,提高了儀器靈敏度。
5、氦在被檢件及真空系統中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續進行檢漏,提高了儀器的檢漏效率。
6.氫氣有些性能(如質量小、易通過漏孔)比氦還好,然而由于氫一方面有易1爆危險,另一方面在油擴散泵中,由于油受熱裂解會產生大量的碳和氫,使氫本底極高且波動大,以致靈敏度大大降低,所以很少采用。
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高壓開關檢漏——氦質譜檢漏儀
高壓電器行業提出的《生產63kv及以上GCB與GIS的必備條件》提出了產品符合技術條件和安全性。高壓開關設備使用SF6氣體作為絕緣滅弧的介質,產品要求開關內部的SF6氣體泄漏量要小,也就是要很好的密封性。所以再生產過程中就要對部件以及出廠整機做檢漏,高壓電器采用的氦質譜檢漏儀的氦質譜法比較方便,易操作,檢漏效果也得到認同。
鹵素檢漏儀檢漏是過去常用的方法,由于靈敏度低,難免發生泄漏和誤檢,使總裝后的產品氣密性達不到要求,導致返工,不但浪費了人力物力,也耽擱了生產周期。由于采用了氦質譜檢漏儀彌補了傳統檢漏的不做,同時可以檢漏漏點和漏率。
氦質譜檢漏儀的檢漏方法根據被檢工件的情況而定的:
1.對于容積較小的部件,如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等,采用氦罩法被檢工件抽空,檢漏儀調到漏率(10-11Pa.m3/s),然后對氦罩沖氦,同時觀察漏率顯示,一大增大,就說明工件不合格。
2.對于體積較大的工件,采用背壓發,按照工件體積的大小試用不同大小的檢漏罐。通常把被檢工件沖入0.6MPa的純氦或氦(含量30%)-氮混合氣體,然后放入檢漏罐中。先用輔助抽空系統抽至5Pa以下,關掉抽氣閥,打開檢漏閥,進行檢漏。漏率超過值即為不合格。
3.對于分裝或總裝,采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體,利用吸槍在被檢工件裝配面或疑是漏點進行找漏。檢漏儀顯示數值超過規定值即為有漏。
安徽諾益科技有限公司是一家專業從事氦質譜檢漏儀、氦檢漏真空箱及回收系統的研發、生產及銷售為一體的專業型高科技企業。自成立以來嚴格執行產品國際標準、及行業標準,應用現代經營理念與管理手段,擁有強大的技術支持和先進的生產與檢測設備,精心制造出穩定性好、效率快和功能齊全的NOY品牌高精儀器產品。
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氦質譜檢漏儀
1.智能化:以往的氦質譜檢漏儀操作非常輔助,而現在的觸屏式,自動檢測。
2.便捷化:這幾年市場上各種小型便捷的檢漏儀能夠為行業提供小巧而靈敏性高的設備。
3.自動化程度高:自動校準氦峰,自動調節0點,量程自動轉換,自動數據處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜擇功能,一個按鈕即可完成全檢漏過程。
4.全無油的干式檢漏:有些國家生產的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。
5.檢漏范圍寬:現今生產的四極檢漏儀,質量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。
氦質譜檢漏的優越性
氦質譜檢漏法是根據質譜分析的原理, 以氦作示蹤氣體, 對各種需密封的容器的漏隙進行快速定位和定量檢測的理想方法。
由于氦是惰性氣體, 對大氣無污染, 使用比較安全; 而且氦的原子量小、粘度小, 容易滲透過任何可能存在的漏隙, 因此檢測靈敏度高、速度快、適用范圍廣; 另外氦在大氣中含量少(僅萬分之五) , 離子質量與其它氣體離子質量相差很大, 不易受干擾, 錯判幾率小。所以, 與其它諸多檢漏方法比, 氦質譜檢漏具有的優越性。
隨著科學技術的不斷發展, 檢漏應用技術在不斷地更新, 氦質譜檢漏技術也在不斷擴展到更廣闊的領域當中。為提高產品合格率和生產效率, 不應一味沿用的古老且落后的手段處理泄漏問題。