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1、完全消除了加熱過程中工件表面的氧化、脫碳，可獲得無變質(zhì)層的清潔表面。這對于那些在刃磨時僅磨一面的刀具（如麻花鉆磨削后使溝槽表面的脫碳層直接暴露于刃口、切削性能的改善關系極大。

2、對環(huán)境無污染，不需進行三廢處理。

3、爐溫測定、監(jiān)控精度明顯提高。熱電偶的指示值與爐溫溫度達到±1.5°c。但爐內(nèi)大批工件不同部位的溫差較大，若采用稀薄氣體強制循環(huán)，仍可控制在±5°c溫差范圍內(nèi)。

模具熱處理過程中，所采用的工藝參數(shù)對模具性能也有著至關重要的影響：它包括了加熱溫度、加熱速度、保溫時間、冷卻方式、冷卻速度等。目前國內(nèi)外都在設法采用更先進的熱處理手段來提高模具的性能延長模具的使用壽命。正確的熱處理工藝參數(shù)可以保證模具獲得性能，反之，將產(chǎn)生不良甚至嚴重后果。實踐表明，正確的熱處理工藝可以獲得優(yōu)良的組織，優(yōu)良的組織形態(tài)才能保證優(yōu)良的機械性能。合適的工藝方法可以有效的控制模具熱處理時的變形和開裂。從實踐中發(fā)現(xiàn)：模具在加熱和冷卻過程中，模具表面溫度和心部溫度的差異(加熱的不均勻性和冷卻的不均勻性)是造成模具變形的主要因素。(真空爐具有控制加熱速度和冷卻速度的能力)。不同的工藝方法可以使模具滿足不同的使用條件和不同的性能要求。

由于真空熱處理的一系列特點，這一現(xiàn)代新技術得到了迅速發(fā)展和廣泛應用。從實踐中發(fā)現(xiàn)：模具在加熱和冷卻過程中，模具表面溫度和心部溫度的差異(加熱的不均勻性和冷卻的不均勻性)是造成模具變形的主要因素。從處理材料來看，該工藝可以處理碳鋼、不銹鋼、合金鋼、耐熱合金、磁性材料、鈦及鈦合金、錯及錯合金、工具鋼（包括模具鋼和切削工具鋼。從產(chǎn)品零部件來看，航空工業(yè)中的飛機機翼大梁、起落架、螺栓等結構件，機械制造中的齒輪、軸、工具、夾具、模具等都需要進行真空熱處理。從應用工藝領域來看，機械、冶金、能源、交通、航天、航空、航海、建筑、輕工、紡織、化工、石油、電子、電器等行業(yè)都需要真空熱處理。