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用氦氣作為氦質譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體）的原則是：它在空氣中及真空系統中的含量低；檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高；它不會對人員、環境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患；價格低。

質譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

1、氦在空氣中及真空系統殘余氣體中的含量極1少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應出來，靈敏度高。

2、氦的質量?。ㄏ鄬Ψ肿淤|量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發現，靈敏度高。

3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學反應，不會污染被檢件，使用安全。

4、在氦兩側的是氫（質荷比為2）和雙電荷原子碳（質荷比為6），質荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉半徑相差也大，容易分開，定標找氦峰時，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。與此同時，您卻得到泄漏指示，但是與測試對象遠離(幾英尺/分米)，因而原因不明。同時，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。

5、氦在被檢件及真空系統中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續進行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能（如質量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易1爆危險，另一方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

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氦檢漏儀產品介紹

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專業用于電廠檢漏的氦質譜檢漏儀。關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。

可檢漏率： 5×10-12Pa·m3/s漏率顯示范圍： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s啟動時間： ≤5min響應時間： <2S檢漏口： 300Pa極限真空： 5×10-4Pa外形尺寸： 560（W）×420（D）×300（H）重量：46KG

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1.氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學反應，不會污染被檢件.使用安全。

2、在氮兩側的是氫(質荷比為2)和雙電荷原子碳(質荷比為6)，質荷比都與氮相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉半徑相差也大,容易分開，定標找氨峰時，不易受其他離子的干擾，因此就降低易于加工。同時利用R22制冷劑的低蒸發溫度特性，將較高溫度的SF6氣體冷卻至冷凝溫度進行液化、貯存。同時，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大,使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。