電力環網柜真空箱測漏系統誠信企業 科儀創新真空公司

氦質譜檢漏儀的應用拓展三

（1）電子行業

微波發射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類傳感器、心臟起博器。

（2）真空行業，儀器、儀表行業

管道、接頭、閥門、波紋管、各種真空泵、各類排氣機組、電鏡、質譜儀、電子束離子速暴光機、激光軸分離器、高能加1速器、加1速器、輻照加1速器、鍍膜機、薄膜真空計。

（3）核工業

鈾分離裝置、存儲裝置、核發電裝置。

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氦質譜檢漏儀的校準方法

(1) 漏率校準① 校準系統的組成

校準系統由標準漏孔、截止閥及需校準的氦質譜檢漏儀組成。

②示值誤差

通電預熱，待氦質譜檢漏儀啟動完成后，采用標準漏孔對氦質譜檢漏儀進行校準，將一經過校準的標準漏孔接入氦質譜檢漏儀系統，運行氦質譜檢漏儀，待漏率示值穩定后，可以讀出標準漏孔漏率的氦質譜檢漏儀示值，同一標準漏孔測量三次，計算氦質譜檢漏儀示值平均值，從而得到標準漏孔漏率與氦質譜檢漏儀示值平均值的示值誤差。結束后，將其他量級的標準漏孔依次按此方法接入氦質譜檢漏儀系統進行測試，得到氦質譜檢漏儀在每一量級下漏率的示值誤差。氦質譜檢漏儀的主要及時指標科儀創新是專業生產氦質譜檢漏儀的廠家，專業用于電廠檢漏。

如果測試結果有較大編差，可以考慮氦質譜檢漏儀的自校功能，待完成后，再用標準漏孔進行測試。

③ 重復性

測量重復性是用實驗標準偏差表征的，本校準方法采用極差法來表征重復性。在示值誤差測量中，每一標準漏孔用氦質譜檢漏儀重復測量三次，可用公式(2)計算氦質譜檢漏儀在該漏率下的重復性。

今天和大家分享的是氦質譜檢漏儀的校準方法，如您想了解更多的產品信息，您可撥打圖片上的電話進行咨詢！

氦質譜檢漏儀的原理

氦質譜檢漏儀一般由質譜管，真空系統和電子系統組成。其中質譜管包括離子源，質量分析器和離子檢測器; 真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入質分析器，

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。

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