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發布時間:2020-12-29 07:06  
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凈化車間FFU
當使用FFU的時侯,凈化車間的吊頂被分成了若干模塊,每個模塊就是一個FFU,這樣我們可以通過調節每個模塊(即FFU)來滿足吊頂上部送風靜壓箱的壓力平衡的要求,從而大大降低了對該靜壓箱高度的要求。同時可以節省巨大的送、回風管,故可節省安裝空間。尤其是在改造工程受到層高限制時,FFU有效地解決了這一問題。

半導體、集成電路生產的無塵車間要求
半導體材料提純作為發展半導體器件的重要基礎。由于大規模和超大規模集成電路的工藝要求,為得到高純度的硅材料,原料和中間媒介的高純度和生產環境的潔凈度成為影響產品質量的一個突出問題。集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關,而芯片的缺陷密度與空氣中粒子個數有關。因此,集成電路的高速發展,不僅對空氣中控制粒子的尺寸有極高的要求,而且也需進一步控制粒子數;同時,對于超大規模集成電路生產環境的化學污染控制也有相關的要求。
建設凈化車間具體的要求
1、生產研究過程應盡可能短,并應完成清理渠道的安裝。有必要合理安排凈化車間以供人員使用,包括更衣室,儲藏室,緩沖室和臨時儲藏室。貨物通過時應設有緩沖室,轉運窗和外包室。
2、嚴格按照清潔工程的清潔度水平進行設計和施工,從高到低,從內到外。
3、為了防止潔凈室之間的交叉污染,潔凈室應設計有不同的空氣凈化室或潔凈室內的防污染措施。小物品的轉移應通過轉移窗口發送。
4、凈化車間的凈化空氣量應確保室內正壓所需的空氣量和滿足室內排風量,并應配備潔凈空調房。

凈化車間工程設計與施工關鍵性問題
電話和火警設備
潔凈廠房設置電話,對講電話,可以減少人員在潔凈區走動,減少發塵量,也可在萬一發生火災時及時與外部聯系,也為正常工作聯系創造條件。此外,還應設置火災報警系統,防止火情不易被外部發現而造成重大經濟損失。
空調機房宜在潔凈室側面
空調機房的位置,其位置宜在潔凈室的側面,這不但可以節能,也有利于風道的布置,并使氣流組織更加合理,同時,可以節省工程費用。
