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真空箱氦檢漏系統在兩器使用經驗

實際產品漏率報警閾值的設定

在對空調兩器檢測時，對產品報廢點的設置非常關鍵，指標要求過高，將會帶來大批量產品不合格，太低又保證不了產品質量。正確確定產品的報警點需要以下步驟：

(1) 將冷媒漏率換算成氣體漏率

在對空調兩器進行泄露檢測時，常使用氣體取代制冷劑進行泄露檢測，因此，需要將液體漏率與氣體漏率之間作一個等效轉換。

1) 首先制冷劑液體漏率轉變為氣體漏率：

3) 確定系統的分流因子

在實際檢漏時，由于有輔抽泵及其他因素的影響，并非所有的氦氣都進入到氦檢漏儀，因此，氦氣存在一定的程度的分流。也就是說檢漏儀指示漏率并非工件的實際漏率。要測定系統的分流因子，需要執行以下步驟。

將儀器調整至佳工作狀態，將一個已知漏率（Q1）的標準漏孔置于真空箱內，開啟系統，觀察檢漏儀指示漏率（Q2），則系統的分流Q3= Q1/ Q2。

為了方便說明真空檢漏方法，我們以真空爐為例進行真空檢漏。真空爐主要由機械泵、羅茨泵、擴散泵、前級管路、爐體等幾部分組成，真空爐的生產中為常見問題是極限壓力合格，而升壓率不合格，或者是兩者都不合格，比較少見的是升壓率合格但極限壓力不合格。

1. 極限壓力合格，升壓率不合格

極限壓力合格說明設備沒有明顯漏點，且真空系統的抽氣性能正常。升壓率不合格，主要原因是從粗抽閥到爐體有一些較小的漏點，通常在1×10-9~9.9×10-4Pa·m3/s之間。檢漏步驟為：

①用力按壓氣袋從粗抽閥開始向爐體方向噴吹氦氣，遍針頭移動的速度可以快些，對設備的全部焊口、法蘭連接、動密封、熱電偶連接等處進行檢漏，在焊口不規整及法蘭連接縫隙不均勻處將噴吹移動速度放緩并進行細致檢查。

②不按壓氣袋，用針頭緩慢地對位置進行檢查，漏孔會吸入針頭中存有的少量氦氣，觀測檢漏儀屏幕漏率值噴吹過程中的變化，找到漏率大且上升快的點即是漏點。

③向各個加熱電極、爐體水套等通水腔體內噴吹氦氣檢查泄漏情況。若檢漏多遍后升壓率仍不合格，可以用塑料布、膠帶對的焊口、法蘭連接處、熱電偶、電極等處進行包裹罩封，然后向罩中噴入氦氣，觀察檢漏儀的漏率變化，如果緩慢上升，說明被包裹的位置存在漏點。

真空泄漏中的實漏、虛漏、外漏、內漏

實漏和虛漏

并非所有的抽氣時間延長、極限壓力下降都是因為泄漏，在使用檢漏儀檢漏前，有必要了解一下如何判斷真空設備是否真的發生了泄漏。

真空腔室的內壁或腔室內壁附著的污染物，在真空下持續的釋放出氣體，這種現象被稱為放氣。當真空腔室內部存在死空間，并且該死空間通過一個狹長的通道與腔室內部連通時，死空間內的氣體在真空下也會緩慢的釋放出來，形成類似于放氣或泄漏的現象，通常把這種現象叫做虛漏。

真實的泄漏可以通過檢漏找到，放氣也可以通過清洗真空腔體內表面而解決，而虛漏一旦產生，很難被發現，需要在設計和制造時盡量避免容易產生虛漏的結構或工藝，如上圖中的螺紋連接（一定要用的話可以使用空心螺栓），很長的狹縫或毛細管，兩側滿焊的腔體焊接（較厚的殼體建議真空側滿焊大氣側斷續焊）等等。

如何判斷真空系統是否存在真實的泄漏

壓升測試

壓升測試也叫保壓測試或保真空測試。在真空下關閉真空泵和腔室之間的閥門，放氣、虛漏或者泄漏會造成腔室的壓力升高（反彈），將壓力增加除以經過時間，可以計算出真空系統的壓力上升速率，并繪制成如下圖所示的曲線。壓力上升和下降的速度通常以Pa/hr表示，對于一般的工業真空設備，保壓測試時，超過1Pa/hr的壓升率就需要調查和解決問題，有些高真空的設備，需要0.5Pa/hr甚至更低的壓升率

如果多次測量的壓升率基本恒定不變，那么很可能系統有真實的泄漏。對應的，隨著時間的推移，其壓升率下降，即系統壓力的增加速度會隨著時間的推移而減慢，則暗示有虛漏或放氣（可能也有小的泄漏）。