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Parylene的真空氣相沉積工藝

Parylene的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似，而且所制備的Parylene涂層介電常數也低，還能用微電子加工工藝進行刻蝕制圖，進行再金屬化，因此Parylene不僅可用作防護材料，而且也能作為結構層中的介電材料和掩膜材料使用，經Parylene涂敷過的集成電路芯片，其25um細直徑連接線，連接強度可提高5-10倍。 Parylene能在0.2um厚時就完全沒有，5um時就能耐1000V以上直流擊穿電壓，又是摩擦系數很低的一種自潤滑材料，化學惰性和阻隔性能也好，因此在微電子機械系統中，除了作電介質材料外，還用作微型傳動機構和微型閥門的結構材料和防護材料。

       Parylene是以活性分子在真空的條件下于對象表面聚合一層完全披覆的薄膜，可涂裝到任何形狀的表面，且不產生死角，包括尖銳的棱角、隙縫內部與極細微的中，膜厚可一致性的被覆在產品的任何部位，薄膜厚度由0.001mm-0.05mm，是世界較薄的涂裝之一。

       東莞菱威納米科技有限公司是一家專業從事真空涂覆（parylene coating）的制造型企業。制造原理：將派瑞林(parylene)高分子材料裂解為納米分子，再進行表面真空鍍膜處理。產品特征：經過真空涂覆的產品可達到0.1至100微米的均勻薄膜涂層、無、耐酸堿、抗鹽霧、抗高壓、生物兼容、透明無應力、不含助劑、不損傷工件，是目前更理想的防潮、防霉（零級）、防腐、防鹽霧的絕緣涂層材料。

        Parylene適合用于鐵氧體材料(磁環、磁芯)等電子組件的鍍膜，鍍膜后的電子組件其涂膜附著力強、耐磨性好、硬度高、抗高電壓絕緣性強，漆膜外觀細膩均勻、柔滑、觸感好。耐漆包線的繞線性強，漆膜不裂傷。同時可以增加鐵氧體等磁性材料的介電性及耐高壓性能，可以解決普通環氧樹脂噴涂處理后不耐酸、磨等方面的缺陷。Parylene 涂層能在磁性材料表面形成均勻一同的絕 緣防護涂層！

        鑄造部件：經Parylene處理的表面不會有微粒產生，同時可以增強工作的可靠性，并且可防止污染。

        鐵氧體磁性材料及稀土永磁：高導磁軟磁鐵氧體小磁芯以其體積小、性能高、用量大、市場前景好被我國磁性材料行業作為今后10-15年的發展產品。這些產品的表面采用Parylene來涂上一層保護層，以增強產品表面的絕緣性、堅固性、光滑性。這種涂層是傳統的還氧噴涂所沒有的；稀土永磁產品在汽車、音箱、磁療、電機等領域的運用大。但是這類產品表面的耐腐蝕要求非常高。普通的電鍍、電泳處理的后的產品的耐鹽霧時間能達到70-100小時。而采用Parylene可以達到300-500小時。其耐腐蝕時間是前者的4-5倍。磁性材料（絕緣、防銹、防線傷、填補穩定特性制作）。