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              PR1 2000A1光刻膠公司優惠報價【賽米萊德】

              發布時間:2020-12-31 04:54  

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              美國Futurrex光刻膠

              北京賽米萊德貿易有限公司供應美國Futurrex新型lift-off光刻膠NR9-3000PY,此款負膠的設計適用于比較寬的波長范圍和i線(366納米)曝光工具。當顯影后顯示出負的側壁角度,是lift-off工藝中比較簡易的光刻膠。和其他膠相比NR9i-3000PY有下面的優勢: 1. 比較高的光刻速度,可以定制光刻速度來曝光產量 2. 比較高的分辨率和快的顯影時間 3. 根據曝光能量可以比較容易的調整側壁角度 4. 耐溫可以達到100攝氏度 5. 用RR5去膠液可以很容易的去膠 NR9-3000PY的制作和工藝是根據職業和環境的安全而設計。主要的溶劑是,NR9-3000PY的顯影在水溶液里完成。屬固含量(%):31-35 主要溶劑: 外觀: 淺液體涂敷能:均勻的無條紋涂敷 100攝氏度熱板烘烤300秒后膜厚涂敷自旋速度 40秒自旋。光刻膠編碼HS編碼:3707100001[類注]|[章注]|[子目注釋]中文描述:不含銀的感光乳液劑(CIQ碼:301:液體)英文描述:Non--0--silverlight-sensitiveemulsionagent申報要素:0。

               


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              4,曝光

              前烘好的存底放在光刻膠襯底放在光刻機上,經與光刻版對準后,進行曝光,接受光照的光刻膠發生化學變化,形成潛影,

              光源與光刻膠相匹配,也就是光源波長在光刻膠的敏感波段;

              對準:指光刻板上與襯底的對版標記應準確對準,這樣一套光刻版各版之間的圖形才能彼此套準。

              曝光時間,由光源強度,光刻膠種類,厚度等決定,

              另外,為降低駐波效應影響,可在曝光后需進行烘焙,稱為光后烘焙(PEB


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              5,顯影液

              在已經曝光的硅襯底膠面噴淋顯影液,或將其浸泡在顯影液中,正膠是曝光區、而負膠是非曝光區的膠膜溶入顯影液,膠膜中的潛影顯現出來,形成三維圖像。



              顯影完成后通常進行工藝線的顯影檢驗,通常是在顯微鏡下觀察顯影效果,顯影是否徹底、光刻膠圖形是否完好。

              影響顯影的效果主要因素:

              1,曝光時間,2前烘溫度和時間,3光刻膠膜厚,4顯影液濃度溫度,5顯影液的攪動情況。





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