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可由三甲基氯硅烷與NH3反應來制取。用作氣相法白炭黑表面疏水處理劑及有機合成反應中提供N原子的試劑，還可用作碳化硅纖維的助劑，提高碳化硅纖維的耐熱性和強度，還可用作涂料的防沉淀劑。并用于制備有機硅化合物。

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作業與用途

用作合成三甲基硅基鋰、三甲基硅基鈉、三甲基硅基鉀的原料

用于合成，可作為聚硅碳烷鏈的終止劑。

硅醚是含有硅原子與烷氧基以共價鍵鍵合的一類化合物。其通式為：R1R2R3Si?O?R4，其中R4為烷基取代基或芳基取代基。硅醚在有機合成當中常用于醇的保護基。

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六甲基二硅氧烷，這是一種無色透明液體，容易潮解，所以應該避免接觸潮濕環境，應當儲存在干燥通風的環境下。易燃所以要避免接觸高熱的環境，以防發生燃燒。它幾乎不溶于水，但溶于其他多種。化學性質穩定，可以做硅油、藥品等基礎原料。

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