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發布時間:2020-12-02 13:01  
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電子束鍍膜設備介紹
以下內容由沈陽鵬程真空技術有限責任公司為您提供,希望對同行業的朋友有所幫助。
電子束蒸鍍(Electron Beam Evaporation)是物理氣相沉積的一種。與傳統蒸鍍方式不同,電子束蒸鍍利用電磁場的配合可以精準地實現利用高能電子轟擊坩堝內靶材,使之融化進而沉積在基片上。電子束蒸鍍可以鍍出高純度的薄膜。
電子束蒸發鍍膜機的技術特點
沈陽鵬程真空技術有限責任公司專業生產、銷售電子束產品,以下信息由沈陽鵬程真空技術有限責任公司為您提供。
1、樣品臺:水冷樣品座,樣品座高度可調,便于調整蒸距。調節范圍:樣品臺與基片的可調節范圍300mm.
2、電子槍:電子槍功率6kW可調(滿足金屬、絕緣材料高速蒸發)4穴水冷坩堝(適用于對多種材料進行蒸發鍍制多層膜且膜層較薄工藝中應用效果好)。為保持E型電子槍蒸發絕緣穩定性,配制高品質束流掃描控制器,具有多種供控制程序進行選擇的預設模式,方便于操作、實驗數據積累。沈陽鵬程真空技術有限責任公司本著多年電子束產品行業經驗,專注電子束產品研發定制與生產,先進的電子束產品生產設備和技術,建立了嚴格的產品生產體系,想要更多的了解,歡迎咨詢圖片上的熱線電話。配套相應蒸發坩堝內襯,以適應不同材料,確保蒸發速率穩定性,重復性.
電子束鍍膜有哪些特點?
★ 完全封閉的系統框架設計,外觀更漂亮,使用更安全;是一臺兼具美學和用戶操控體驗的全新升級產品;
★ 前開門真空腔體,方便取放基片、添加蒸發材料以及真空室的日常維護;
★ 可定制一體化高的精度刻蝕掩膜板;基片臺公轉,轉速0~25rpm連續可調;平板基底襯底可選擇加熱或水冷;
★ 更優的薄膜均勻性和重復性,采用進口膜厚監控儀在線監測和控制蒸發速率、膜厚;
★ 可沉積金屬(Au, Ag, Al, Ti, Pt, Mo, Fe, Cr, Ni等)、化合物(ITO等)及有機物材料(進口電子槍)。