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擴散泵超高真空機組

以擴散泵為主泵的超高真空機組的極限真空度為10-7~10-8Pa。

為減少來自擴散泵前級的氣體反擴散和阻擋機械泵油的反擴散對極限真空度的影響，可在擴散泵前級申聯一臺抽速小的擴散泵，以降低壓縮比，減小反擴散。如在擴散泵進氣口上邊增設鈦升華阱，可進一步降低來自擴散泵的氮氣分壓力，能獲得10-11Pa的超高真空。

雙級水環泵-大氣噴射泵機組

雙級水環泵和大氣噴射泵串聯組成的機組的極限壓力為1300Pa。工作時,先開動水環泵,以獲得大氣噴射泵所需的預壓力,使大氣噴射泵的進氣口與出氣口之間有壓力差,大氣通過噴射進入泵內形成高速運動氣流,將被抽氣體 吸入,經擴壓器被水環泵排走。該機組適用于真空蒸發、真空濃縮、真空浸漬、真空干燥、真空冷凍等工藝過程。

拉桿箱式補抽真空機組特點

1. 真空機組可檢測車載瓶夾層真空度，適合車載瓶檢測站年檢使用，不達標準的氣瓶可補抽至合格標準，保證氣瓶安全使用。

2. 適合汽車維修廠、LNG氣瓶生產廠家維修及售后服務等，來補抽LNG車載瓶夾層真空，可同時進行兩工位補抽。

3. 可以進行應急救援補抽真空，可用于浮式接收站、撬裝站以及船載的低溫容器進行真空補抽，根據具體情況維修時間一般為4—12小時。