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氦質(zhì)譜檢漏儀

不僅耗能耗時，還會直接影響真空工藝條件，造成產(chǎn)品不合格等重大生產(chǎn)質(zhì)量問題。究其原因是由于真空系統(tǒng)設(shè)備存在泄漏所致，所以真空系統(tǒng)設(shè)備的真空系統(tǒng)需要進(jìn)行檢漏。對于由各個組件組成的真空系統(tǒng)，各個組件本身存在的一些工藝瑕疵都會直接影響到系統(tǒng)的固有漏率

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氦質(zhì)譜檢漏儀逆擴(kuò)散原理

對子漏氣速率和放氣速率較大或者體積較大的被檢件，若直接與檢漏儀相連，氦質(zhì)譜檢漏儀的真空度可能抽不上去，使氦質(zhì)譜檢漏儀無法工作。此種情況須加接輔助真空系統(tǒng)，提高對被檢件的抽速。的輔助真空系統(tǒng)只需一個機(jī)械泵和兩個閥門，復(fù)雜的系統(tǒng)可由前級泵、次級泵、閥門、真空規(guī)及標(biāo)準(zhǔn)漏孔等組成。次級泵可用擴(kuò)散系或羅茨泵，前級系氣鎮(zhèn)式機(jī)械泵。

氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)的氦質(zhì)譜檢漏儀關(guān)鍵部件均為進(jìn)口，性能穩(wěn)定可靠。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準(zhǔn)和自動量程切換。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。

模塊式的氦質(zhì)譜檢漏儀，輕巧的模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計，整體體積小非常易于集成在工業(yè)密封性測試設(shè)備中?？蓪?shí)現(xiàn)氦或氫的檢測，適用多種檢測要求。適用于低壓和高壓檢測，可在真空中進(jìn)行低壓檢測，也可利用吸槍線進(jìn)行本地高壓檢測。

緊湊的模塊化設(shè)計，便于用戶個性化地集成檢漏系統(tǒng)中；

德國原裝分子泵，雙銥帶離子源能力強(qiáng)；

通過各種不同的模擬和數(shù)字接口，實(shí)現(xiàn)通訊的多樣性；

啟動時間短，快速的信號響應(yīng)和信號清除；

檢漏；

智能故障提示及報警功能。