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氦質譜檢漏儀

不僅耗能耗時，還會直接影響真空工藝條件，造成產品不合格等重大生產質量問題。究其原因是由于真空系統設備存在泄漏所致，所以真空系統設備的真空系統需要進行檢漏。對于由各個組件組成的真空系統，各個組件本身存在的一些工藝瑕疵都會直接影響到系統的固有漏率

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氦質譜檢漏儀逆擴散原理

對子漏氣速率和放氣速率較大或者體積較大的被檢件，若直接與檢漏儀相連，氦質譜檢漏儀的真空度可能抽不上去，使氦質譜檢漏儀無法工作。此種情況須加接輔助真空系統，提高對被檢件的抽速。的輔助真空系統只需一個機械泵和兩個閥門，復雜的系統可由前級泵、次級泵、閥門、真空規及標準漏孔等組成。次級泵可用擴散系或羅茨泵，前級系氣鎮式機械泵。

氦質譜檢漏儀系統的氦質譜檢漏儀關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質量數小、重量輕并且有滲透能力強的優點，達到了細檢漏的目的。

模塊式的氦質譜檢漏儀，輕巧的模塊化結構設計，整體體積小非常易于集成在工業密封性測試設備中。可實現氦或氫的檢測，適用多種檢測要求。適用于低壓和高壓檢測，可在真空中進行低壓檢測，也可利用吸槍線進行本地高壓檢測。

緊湊的模塊化設計，便于用戶個性化地集成檢漏系統中；

德國原裝分子泵，雙銥帶離子源能力強；

通過各種不同的模擬和數字接口，實現通訊的多樣性；

啟動時間短，快速的信號響應和信號清除；

檢漏；

智能故障提示及報警功能。