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發布時間:2021-08-28 15:31  
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真空鍍膜之多弧離子鍍 :
多弧離子鍍又稱電弧離子鍍或陰極離子鍍是以鍍膜材料為陰極,陽極和真空室相連,陰極和陽極分別接到低壓大電流直流電源的負極和正極。蒸鍍時由于放電,在陰極表面上出現明亮的弧斑, 從而使陰極材料蒸發并電離, 形成金屬等離子體。引弧電極與陰極靶表面接觸和離開的瞬間,陰極和陽極之間形成穩定的自持弧光放電。廣泛應用于汽車燈具反射膜、反光杯、前車燈,后車燈,轉向燈、車牌照明燈等,前車燈包括:鹵鎢燈、氙氣燈、近光燈、遠光燈、前轉向燈、前位燈(又叫示寬燈,表明車輛存在的位置燈),前霧燈;后車燈包括后位燈、倒車燈、制動燈、后霧燈、后轉向燈。

從鍍膜的原理及特點看,真空蒸鍍工件不帶電,真空條件下金屬加熱蒸發沉積到工件表面,沉積粒子的能量與蒸發時的溫度對應。濺射的工件為陽極,靶為陰極,利用原子的濺射作用把靶材原子擊出而沉積在工件表面上,沉積原子的能量由被濺射原子的能量分布決定。離子鍍的工件為陰極,蒸發源為陽極,進入輝光放電空間的金屬原子離子化后奔向工件,并在工件表面沉積成膜,沉積過程中離子對基片表面、膜層與基片的界面以及膜層本身都發生轟擊作用,粒子的能量決定于陰極上所加的電壓。
真空鍍膜基本方法 :
從被沉積物質的氣化方式看,真空蒸鍍為電阻加熱、電子束加熱、感應加熱、激光加熱等;濺射的鍍料原子不是靠加熱方式蒸發,而是靠陰極濺射由靶材獲得沉積原子;離子鍍可以分為蒸發式或者濺射式,蒸發式為電阻加熱、電子束加熱、感應加熱、激光加熱等,濺射式由進入輝光放電空間的原子由氣體提供,反應物沉積在基片上。


真空鍍膜是在高真空中加熱金屬或非金屬材料,使其蒸發并凝結在鍍膜部件表面形成薄膜的一種方法。如真空鍍鋁、真空鍍鉻等。
真空鍍膜是真空系統應用發展領域的一個非常重要內容方面,它是以真空處理技術為基礎,利用物理或化學教學方法,并吸收電子束、分子束、離子束等一系列新技術,為科學研究和實際生產提供薄膜制備的一種新工藝。