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發(fā)布時(shí)間:2021-06-10 06:53  
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?電子產(chǎn)業(yè)仰賴潔凈技術(shù)
通過(guò)近幾十年的發(fā)展,中國(guó)潔凈室技術(shù)的產(chǎn)業(yè)鏈已逐步形成,上游包括空氣凈化設(shè)備的制造、潔凈室用各種耗材生產(chǎn);中游包括與潔凈室的設(shè)計(jì)、建造、調(diào)試、測(cè)試、運(yùn)行相關(guān)的產(chǎn)業(yè);下游包括各個(gè)使用潔凈室的行業(yè)。并且,隨著下游產(chǎn)業(yè)在中國(guó)的快速發(fā)展,以及它們對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求日益,潔凈室技術(shù)也處于高速發(fā)展之中。同樣, 潔凈室技術(shù)的發(fā)展是下游產(chǎn)業(yè)順利進(jìn)行的有力保障。無(wú)塵車間合理的氣流組織方案是減弱開(kāi)門時(shí)污染物侵入的輔助手段之一。所以,潔凈室技術(shù)與下游產(chǎn)業(yè)是互相促進(jìn)、互相影響的關(guān)系。在應(yīng)用潔凈室技術(shù)的相關(guān)行業(yè)中,電子行業(yè)對(duì)潔凈及相關(guān)受控環(huán)境依賴性大,潔凈技術(shù)在電子行業(yè)應(yīng)用約占整個(gè)潔凈行業(yè)市場(chǎng)的67%。在我國(guó),電子行業(yè)每年花費(fèi)在潔凈室方面的費(fèi)用約為50億元,其中,以集成電路芯片生產(chǎn)線為代表的微電子行業(yè)每年約30億元。另外,平板顯示(FPD)產(chǎn)業(yè)作為支撐我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè),也是潔凈室相關(guān)供應(yīng)商的重要用戶。據(jù)調(diào)查,世界上面積大的潔凈室即應(yīng)用于平板顯示行業(yè),一個(gè)單體的潔凈室廠房面積可容納32架飛機(jī)。
潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)型式的比較選擇
(一)凈化送風(fēng)和空調(diào)送風(fēng)合一的送風(fēng)型式,通常也稱作集中式送風(fēng)型式。因此潔凈室的壓差值需要經(jīng)常進(jìn)行檢查,并依次對(duì)新、送、回、排風(fēng)通路的閥門作出相應(yīng)的調(diào)整。此方案的凈化空調(diào)機(jī)組(空氣處理機(jī)組 AHU)集中設(shè)置在空調(diào)機(jī)房?jī)?nèi),全部的凈化空調(diào)送風(fēng)均在凈化空調(diào)機(jī)組內(nèi)進(jìn)行凈化和熱、濕處理,然后由龐大的送風(fēng)管道將全部的送風(fēng)輸送到潔凈室的吊頂上部,再經(jīng)過(guò)設(shè)在潔凈室吊頂上的終端高1效過(guò)濾器或高1效過(guò)濾器送風(fēng)口過(guò)濾后送到潔凈室內(nèi),來(lái)實(shí)現(xiàn)潔凈室工藝生產(chǎn)所需要的溫度、濕度、潔凈度和房間的壓差,潔凈室的回風(fēng)經(jīng)回風(fēng)口、回風(fēng)管再接回到空調(diào)機(jī)房的凈化空調(diào)機(jī)組內(nèi)與新風(fēng)混合后重復(fù)進(jìn)行凈化和熱、濕處理。
此方案又可分為全新風(fēng)送風(fēng)方案(直流系統(tǒng));一次回風(fēng)方案;一、二次回風(fēng)方案和(MAU)加(FFU)方案等四種不同的凈化空調(diào)送風(fēng)型式。這種送風(fēng)方案是當(dāng)前潔凈室特別是非單向流潔凈室應(yīng)用廣泛的凈化空調(diào)送風(fēng)方案。確定集中或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時(shí),應(yīng)綜合考慮生產(chǎn)工藝的特點(diǎn)和凈化車間空氣的潔凈度等級(jí)、面積、位置等因素。這種送風(fēng)方案的系統(tǒng)劃分明確,風(fēng)量和溫、濕度控制調(diào)節(jié)都單一。
但是潔凈度級(jí)別較高、送風(fēng)量較大時(shí),存在著空調(diào)機(jī)房占面積大,送、回風(fēng)管體積大占面積和占空間大,送、回風(fēng)管道長(zhǎng),送風(fēng)機(jī)的余壓高,噪音大,風(fēng)量輸送耗電量大等問(wèn)題。3、高于20米以上的架臺(tái),其周圍應(yīng)有一米高的欄桿,架臺(tái)底部周圍應(yīng)有不低于0。因此,這種送風(fēng)方案較適用在低級(jí)別的非單向流潔凈室的送風(fēng),對(duì) 5 級(jí)以上的單向流潔凈室送風(fēng)就不太經(jīng)濟(jì)合理了。
1. AHU 全新風(fēng)的凈化空調(diào)送風(fēng)方案(直流系統(tǒng))
全新風(fēng)凈化空調(diào)送風(fēng)方案是用于特殊的不允許回風(fēng)的潔凈室的送風(fēng)方案中。 如:潔凈室內(nèi)工藝生產(chǎn)類別為甲、乙類火災(zāi)危險(xiǎn)等級(jí)或工藝過(guò)程產(chǎn)生有劇1毒等有害物不允許回風(fēng)的潔凈送風(fēng)系統(tǒng)中。
2.AHU 一次回風(fēng)的凈化空調(diào)送風(fēng)方案
一次回風(fēng)的送風(fēng)方案多用在潔凈室內(nèi)的發(fā)熱量或產(chǎn)濕量很大,消除室內(nèi)余熱或余濕的送風(fēng)量大于、等于或近于凈化送風(fēng)量的低潔凈度等級(jí)的非單向流潔凈室中。
3.AHU 一、二次回風(fēng)的凈化空調(diào)送風(fēng)方案
為了節(jié)能、消除空氣熱濕處理過(guò)程中的冷熱相互抵消,在潔凈室凈化送風(fēng)量大于其消除余熱、余濕的空調(diào)送風(fēng)量時(shí),1好采用一、二次回風(fēng)方案,將二次混合點(diǎn)設(shè)計(jì)在系統(tǒng)送風(fēng)點(diǎn)上,該方是節(jié)能、1經(jīng)1濟(jì)的送風(fēng)方案。
4.MAU RAU 的凈化空調(diào)送風(fēng)方案
此方案多用于多個(gè)潔凈室其潔凈度,溫、濕度要求不同,室內(nèi)的產(chǎn)熱量和產(chǎn)濕量也不盡相近,為了確保每個(gè)潔凈室的潔凈度,溫、濕度及其精度的要求,就要設(shè)置多個(gè)循環(huán)機(jī)組,循環(huán)機(jī)組的送風(fēng)量是凈化送風(fēng)量,并且在機(jī)組內(nèi)設(shè)置必要的熱、濕處理設(shè)備,用來(lái)補(bǔ)充新風(fēng)機(jī)組熱、濕處理的不足和保證該潔凈室溫、濕度精度的微調(diào)節(jié)。如在冬季氣溫低、空氣含塵量大的北方地區(qū),則應(yīng)在通用的空調(diào)機(jī)組上增設(shè)新風(fēng)預(yù)熱段,采用淋水式空氣處理方式,使其既對(duì)空氣洗塵又使其產(chǎn)生熱溫交換達(dá)到所要求的溫、濕度。由于循環(huán)機(jī)組設(shè)在潔凈室的吊頂上面,循環(huán)機(jī)組的送風(fēng)余壓相對(duì)都較小,機(jī)組體積和機(jī)組噪聲、振動(dòng)也較小,送回風(fēng)管也比較短小;但是,要注意循環(huán)機(jī)組的凝結(jié)水排放問(wèn)題,往往這種方案的問(wèn)題都出在凝結(jié)水排放的處理上。
此方案的新風(fēng)機(jī)組設(shè)在空調(diào)機(jī)房?jī)?nèi),這些潔凈室所需的新風(fēng)全部由新風(fēng)機(jī)組(MAU)進(jìn)行凈化和熱濕的集中處理。然后分配到每一個(gè)循環(huán)機(jī)組內(nèi)與其回風(fēng)混合。后者是指嚴(yán)密性好,不漏氣,不發(fā)塵,不積塵,不污染,可耐火、耐腐蝕、耐潮濕。新風(fēng)機(jī)組的新風(fēng)量不僅僅要補(bǔ)充各潔凈室的排風(fēng)還要保證每個(gè)潔凈室的正壓。新風(fēng)機(jī)組的熱濕處理1好到某潔凈室空氣的機(jī)械露1點(diǎn)上,如果將新風(fēng)熱濕處理點(diǎn)低于潔凈室的機(jī)械露1點(diǎn)作到新風(fēng)不僅承擔(dān)新風(fēng)本身的濕負(fù)荷,而且還將潔凈室的濕負(fù)荷也消除掉,此時(shí)循環(huán)機(jī)組內(nèi)的表冷器可為干式表冷器。 (二)、凈化送風(fēng)和空調(diào)送風(fēng)分離的方案,此方案通常被稱作半集中式或分散式的送風(fēng)方案。為了大大地節(jié)省運(yùn)行時(shí)的能耗,將消除潔凈室內(nèi)余熱、余濕的空調(diào)送風(fēng)量(通常大大地小于潔凈室的凈化送風(fēng)量),由設(shè)在空調(diào)機(jī)房?jī)?nèi)的新風(fēng)機(jī)組(MAU)進(jìn)行必要的凈化和熱濕處理,而將占總送風(fēng)量 50~90%的保證潔凈室潔凈度的凈化送風(fēng)量由設(shè)在潔凈室附近的循環(huán)機(jī)組進(jìn)行凈化和補(bǔ)充的熱、濕處理,或直接采用吊頂上的 FFU(風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組)和干盤管來(lái)解決潔凈室的潔凈度等級(jí)和溫度的微調(diào)節(jié)。
此種凈化送風(fēng)與空調(diào)送風(fēng)相分離的送風(fēng)方案,不僅可節(jié)省運(yùn)行的能耗,而且大大地減少了空調(diào)機(jī)房面積,省掉了龐大的送、回風(fēng)管道,降低了潔凈室的空間高度。對(duì)于所需要的材料,施工單位也要仔細(xì)的對(duì)照,確保購(gòu)買材料無(wú)誤,避免給施工過(guò)程帶來(lái)麻煩,因此這就凈化工程水電安裝在施工過(guò)程中要嚴(yán)格按照施工設(shè)計(jì)對(duì)水電安裝進(jìn)行設(shè)計(jì)施工。此種凈化空調(diào)送風(fēng)方案又可分為:空調(diào)機(jī)組(AHU)加風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組(FFU)方案,新風(fēng)機(jī)組(MAU)加循環(huán)機(jī)組(RAU)加(FFU)方案;新風(fēng)機(jī)組(MAU)加風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組(FFU)加干冷盤管(DC)方案等三種送風(fēng)方案。
1. 空調(diào)機(jī)組 AHU(MAU)加風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組(FFU)的凈化空調(diào)送風(fēng)方案此方案中凈化空調(diào)系統(tǒng)的全部熱、濕負(fù)荷(潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的熱、濕負(fù)荷及新風(fēng)的熱、濕負(fù)荷)全部由設(shè)在空調(diào)機(jī)房?jī)?nèi)的空調(diào)機(jī)組來(lái)負(fù)擔(dān)。此時(shí),空調(diào)機(jī)組的送風(fēng)量是消除本系統(tǒng)余熱、余濕的空調(diào)送風(fēng)量(其中包括全部新風(fēng)和部分回風(fēng),但遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于保證潔凈室潔凈度等級(jí)的凈化送風(fēng)量),它應(yīng)能確保潔凈室內(nèi)的溫度和相對(duì)濕度的恒定。兩者的過(guò)濾單元構(gòu)造區(qū)別1、FFU層流罩是由送風(fēng)箱體,法蘭,導(dǎo)風(fēng)板,風(fēng)機(jī),高1效過(guò)濾器組成的,是帶動(dòng)力裝置的凈化設(shè)備,可以單獨(dú)或連接風(fēng)管使用。而該潔凈室的潔凈度由設(shè)在潔凈室吊頂上的風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組(FFU)將凈化送風(fēng)量就地循環(huán)過(guò)濾來(lái)保證。此方案中應(yīng)該注意的是,F(xiàn)FU 運(yùn)行過(guò)程中所產(chǎn)生的熱量也應(yīng)由空調(diào)機(jī)組來(lái)承擔(dān)。此方案更適合用于在大面績(jī)非單向流潔凈室內(nèi)有局部的垂直單向流的混合流潔凈室中。
2. 新風(fēng)機(jī)組(MAU)加循環(huán)機(jī)組(RAU)加風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元(FFU)凈化空調(diào)送風(fēng)方案,此方案多用于多個(gè)潔凈室其潔凈度,溫、濕度要求不同,室內(nèi)的產(chǎn)熱量和產(chǎn)濕量也不盡相近,為了確保每個(gè)潔凈室的潔凈度,溫、濕度及其精度的要求,就要設(shè)置多個(gè)循環(huán)機(jī)組,循環(huán)機(jī)組的送風(fēng)量是凈化送風(fēng)量,并且在機(jī)組內(nèi)設(shè)置必要的熱、濕處理設(shè)備,用來(lái)補(bǔ)充新風(fēng)機(jī)組熱、濕處理的不足和保證該潔凈室溫、濕度精度的微調(diào)節(jié)。由于循環(huán)機(jī)組設(shè)在潔凈室的吊頂上面,循環(huán)機(jī)組的送風(fēng)余壓相對(duì)都較小,機(jī)組體積和機(jī)組噪聲、振動(dòng)也較小,送回風(fēng)管也比較短小;但是,要注意循環(huán)機(jī)組的凝結(jié)水排放問(wèn)題,往往這種方案的問(wèn)題都出在凝結(jié)水排放的處理上。凈化工程所用的防火板的優(yōu)點(diǎn):1、圖案清晰,效果逼真,立體感強(qiáng),保溫隔隔熱好,是玻璃的六倍,粘土的三倍,普通混泥土的十倍。此方案的新風(fēng)機(jī)組設(shè)在空調(diào)機(jī)房?jī)?nèi),這些潔凈室所需的新風(fēng)全部由新風(fēng)機(jī)組(MAU)進(jìn)行凈化和熱濕的集中處理。然后分配到每一個(gè)循環(huán)機(jī)組內(nèi)與其回風(fēng)混合。新風(fēng)機(jī)組的新風(fēng)量不僅僅要補(bǔ)充各潔凈室的排風(fēng)還要保證每個(gè)潔凈室的正壓。新風(fēng)機(jī)組的熱濕處理1好到某潔凈室空氣的機(jī)械露1點(diǎn)上,如果將新風(fēng)熱濕處理點(diǎn)低于潔凈室的機(jī)械露1點(diǎn)作到新風(fēng)不僅承擔(dān)新風(fēng)本身的濕負(fù)荷,而且還將潔凈室的濕負(fù)荷也消除掉,此時(shí)循環(huán)機(jī)組內(nèi)的表冷器可為干式表冷器。
當(dāng)多個(gè)潔凈室中有若干個(gè) 1 級(jí)、10 級(jí)、100 級(jí)等高凈化級(jí)別的垂直單向流潔凈室時(shí),為了減少循環(huán)機(jī)組(RAU)的負(fù)擔(dān)和送、回風(fēng)管道的斷面,此時(shí)循環(huán)機(jī)組僅解決該單向流潔凈室的空調(diào)送風(fēng)量,以保證潔凈室的溫度、相對(duì)濕度和潔凈室的正壓,而占 90%以上的絕大部分送風(fēng)量有設(shè)在潔凈室吊頂上的 FFU 來(lái)負(fù)擔(dān),以保證潔凈室的高潔凈度級(jí)別。隨部分氣流(約5一20%)一起進(jìn)入下部灰斗,在重力和慣性力作用下,塵拉在灰斗中分離。
3. 新風(fēng)機(jī)組(MAU)加風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組(FFU)加干冷盤管(DC)的凈化空調(diào)送風(fēng)方案此方案是新風(fēng)機(jī)組將新風(fēng)處理到潔凈室熱濕比 線與相對(duì)濕度 95%線交點(diǎn)以下,新風(fēng)機(jī)組不僅將本身的濕負(fù)荷去掉,而且還負(fù)擔(dān)潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的濕負(fù)荷,新風(fēng)機(jī)組要確保潔凈室所需要的相對(duì)濕度。慣性除塵器主要用于捕集20~30μm以上的粗大塵粒,常用作凈化工程中多級(jí)除塵器的di一級(jí)除塵。而新風(fēng)機(jī)組熱處理不足部分的干冷負(fù)荷將由設(shè)在潔凈室吊頂上(或夾道內(nèi))的干表冷器來(lái)補(bǔ)充。因干表冷器是設(shè)在 FFU 循環(huán)空氣通過(guò)的吊頂上或夾道內(nèi),因此,干表冷所彌補(bǔ)的干冷負(fù)荷被循環(huán)空氣帶到潔凈室內(nèi)。由新風(fēng)機(jī)組處理過(guò)的新風(fēng)用管道以能與 FFU 循環(huán)空氣均勻混合的方式送到潔凈室的送風(fēng)靜壓箱內(nèi)。
FFU 布置在潔凈室的吊頂上,與新風(fēng)混合的循環(huán)風(fēng)經(jīng) FFU 被高1效過(guò)濾器過(guò)濾后送到潔凈室內(nèi),以保證潔凈室的潔凈度。潔凈室內(nèi)密封控制重點(diǎn)潔凈室內(nèi)密封控制重點(diǎn)內(nèi)容是圍護(hù)結(jié)構(gòu)的密封施工質(zhì)量,如板材與板材之間應(yīng)均勻涂密封膠,達(dá)到嚴(yán)密不漏風(fēng)。FFU 的規(guī)格以 1200mm×600mm 和 1200mm×1200mm 居多,其斷面風(fēng)速應(yīng)為≥0.45m/s,余壓應(yīng)≥120Pa,噪聲應(yīng)≤50dB(A)為好。
?重污染來(lái)襲,別忽略室內(nèi)空氣
當(dāng)室外PM2.5濃度低于75微克/立方米時(shí),開(kāi)窗通風(fēng)有利于室內(nèi)空氣質(zhì)量的改善,但室外PM2.5濃度高于150微克/立方米時(shí),開(kāi)窗通風(fēng)則會(huì)惡化室內(nèi)空氣質(zhì)量。
北京第二次空氣重污染紅色預(yù)警將于今晚24時(shí)結(jié)束,預(yù)警期間,相關(guān)部門建議市民盡量避免戶外活動(dòng),在家“躲霾”成為不少市民的選擇。
室內(nèi)環(huán)境是否一定優(yōu)于室外?
根據(jù)今年4月份清華大學(xué)發(fā)布的一份覆蓋北京市13個(gè)區(qū)縣、7703個(gè)地理位置的室內(nèi)PM2.5污染公益調(diào)研報(bào)告顯示,室內(nèi)PM2.5污染對(duì)人的影響更顯著,PM2.5吸入量室內(nèi)占八成。如果余壓閥完全關(guān)閉時(shí)室內(nèi)正壓值仍低于要求值,則需改用其他方式控制室內(nèi)壓差。這也就意味著,人們?cè)谑覂?nèi)吸入的PM2.5是室外的4倍。對(duì)此,該研究組負(fù)責(zé)人、清華大學(xué)電子工程系研究員張林曾介紹,室內(nèi)PM2.5的吸入量占每日總量的80%以上,主要是因?yàn)槿藗円惶飚?dāng)中有大約20小時(shí)是在室內(nèi),只有4小時(shí)在室外。
北京大學(xué)公共衛(wèi)生學(xué)院潘小川解釋,通常來(lái)說(shuō),建筑物本身的防護(hù)結(jié)構(gòu),包括墻壁、玻璃等,可以在一定程度上阻擋部分污染物質(zhì),從這個(gè)角度考慮,室內(nèi)空氣污染水平應(yīng)該比室外稍低。潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范))都是這樣規(guī)定的垂直平行流(層流)潔凈室≥0。另一方面,建筑物防護(hù)結(jié)構(gòu)存在一定的縫隙,“密封性不是很好,隨著時(shí)間的延長(zhǎng),室外空氣中的一顆微小顆粒物,如PM2.5,就有可能得以進(jìn)入室內(nèi),導(dǎo)致室內(nèi)外空氣污染水平差距不大。即便如此,建筑物對(duì)阻擋一些污染物質(zhì)還是有一定功效的。”