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電子特氣系統的維護

由于特氣系統是一種具有高風險的供應系統，因此在生產線現場的維護需要專業、有經驗的技術員完成。特氣系統的維護主要包含氣體柜維護和管路維護。

（1）特氣柜又分為全自動特氣柜與半自動特氣柜，每種氣柜的維護方法有一定的區別。全自動氣柜維護自動化程度較高，并且安全可靠。在維護前關閉鋼瓶閥門，設置換瓶吹掃，程序自動進行抽氣，置換等動作，根據氣體性質的不同，一般至少吹掃60次以上，負壓保壓30分鐘以上，確保氣柜各管路與閥門吹掃干凈。它分為調整零位用標準氣體(零位氣體)、監測環境用標準氣、工業分析用標準氣體、醫1療儀器用標準氣體、可燃性氣體泄漏用標準氣體、燃燒器尾氣用標準氣體六大類。

（2）管路的維護，由于不同的氣體性質不一樣，對管路維護的方法也不相同，對腐蝕性氣體的管道需要多次用高純氮氣吹掃（N2purge），一般至少反復30次，對于有吸附性的液態源氣體，由于管路容易堵塞，需要多次的反復的抽真空，抽完后關閉閥門，1小時后會出現壓力表回表的現象，會造成管道泄漏的誤導，遇到此情況打開真空器發生器繼續抽，直到沒有吸附氣體釋放為止。漏孔堵塞現象：指由于真空檢漏作業操作不當導致塵埃或液體堵塞漏孔，檢漏時似乎不漏氣，但一經排氣就會出現漏氣的一種現象。

以上兩種系統維護后都必須做正壓與負壓的保壓測試，一般正壓保壓壓力為使用壓力的1.2倍，負壓保壓為-12PSI，保壓時間至少120分鐘以上，由于壓力傳感器（PT）受溫度的影響，一般有2PSI的正負波動。

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試驗室集中供氣系統的優點

針對過去使用中存在的問題，現代試驗室對載氣的使用環境進行了改革，即 “集中供氣系統”，即將使用氣體（以下簡稱載氣）集中貯存，然后通過壓差的原理將氣體經過金屬或其他材質管路送至用氣點。其優點主要有以下幾點：

1、首先解決氣瓶的放置問題。氣瓶間的位置如果可能盡量位于與試驗室相對獨立的房間，如果與試驗室在同一大樓內，則氣瓶間的位置要盡量位于人1流較少并且獨立的房間，這種方式可使氣瓶與工作人員及儀器完全隔離，即使有害氣體有泄漏，也不會發生直接傷害。它們的投資規模巨大，采用最1先進的工藝制程設備，用氣需求量大，對穩定和不間斷供應、純度控制和安全生產提出最嚴格的要求。

2、其次氣體混合的問題。將所有載氣氣瓶根據氣體性質分別集中在一個氣瓶間中與助燃氣體分開存貯。

3、再次是解決氣瓶壓力的問題。每種氣體可以將多瓶氣體并聯然后通過一個出口統一減壓后運送氣體至使用點。因為氣瓶間是相對獨立的，整個氣路系統壓力1大的地方也是氣瓶出口處，因此這種方式將氣瓶壓力可能發生的危險縮小至氣瓶間內，可對人體及儀器的傷害可降到1低。對氣體分析儀用氣體,如含氫10%，其余是氦的混合氣以及含甲1烷5%或10%。

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電子特氣管道系統氦檢漏檢測規定

1、氦檢漏儀表應采用質譜型氦檢測儀，其檢測精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

2、特氣系統，內向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;

3、閥座測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;

4、外向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

氦檢漏發現的泄漏點經修補后，應重新經過氣密性試驗，合格后再按規定進行氦檢漏。所有可能泄漏點應用塑料袋進行隔離。系統測試完畢，應充入高純氮氣，并進行吹掃。測試完畢后，應提交測試報告。