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發布時間:2020-11-07 14:18  
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光刻膠分類
市場上,光刻膠產品依據不同標準,可以進行分類。依照化學反應和顯影原理分類,光刻膠可以分為正性光刻膠和負性光刻膠。使用正性光刻膠工藝,形成的圖形與掩膜版相同;使用負性光刻膠工藝,形成的圖形與掩膜版相反。
按照感光樹脂的化學結構分類,光刻膠可以分為①光聚合型,采用烯類單體,在光作用下生成自由基,進一步引發單體聚合,后生成聚合物,具有形成正像的特點;9.在DEEPRIE和MASK可以使用NRP9-8000P嗎。②光分解型,采用含有疊氮醌類化合物的材料,其經光照后,發生光分解反應,可以制成正性膠;③光交聯型,采用聚乙烯醇月桂酸酯等作為光敏材料,在光的作用下,形成一種不溶性的網狀結構,而起到抗蝕作用,可以制成負性光刻膠。
按照曝光波長分類,光刻膠可分為紫外光刻膠(300~450nm)、深紫外光刻膠(160~280nm)、極紫外光刻膠(EUV,13.5nm)、電子束光刻膠、離子束光刻膠、X射線光刻膠等。從對準原理上及標記結構分類,對準技術從早期的投影光刻中的幾何成像對準方式,包括視頻圖像對準、雙目顯微鏡對準等,一直到后來的波帶片對準方式、干涉強度對準、激光外差干涉以及莫爾條紋對準方式。不同曝光波長的光刻膠,其適用的光刻極限分辨率不同,通常來說,在使用工藝方法一致的情況下,波長越小,加工分辨率越佳。
下游發展趨勢
光刻膠的質量和性能是影響集成電路性能、成品率及可靠性的關鍵因素。光刻工藝的成本約為整個芯片制造工藝的35%,并且耗費時間約占整個芯片工藝的40%到50%。光刻膠材料約占IC制造材料總成本的4%,市場巨大。據智研咨詢估計,得益于我國平面顯示和半導體產業的發展,我國光刻膠市場需求,在2022年可能突破27。因此光刻膠是半導體集成電路制造的核心材料。2016年全球半導體用光刻膠及配套材料市場分別達到14.5億美元和19.1億美元,分別較2015年同比增長9.0%和8.0%。預計2017和2018年全球半導體用光刻膠市場將分別達到15.3億美元和15.7億美元。隨著12寸先進技術節點生產線的興建和多次曝光工藝的大量應用,193nm及其它先進光刻膠的需求量將快速增加
市場規模
中國半導體產業穩定增長,全球半導體產業向中國轉移。據WSTS和SIA統計數據,2016年中國半導體市場規模為1659.0億美元,增速達9.2%,大于全球增長速度(1.1%)。2016年中國半導體制造用光刻膠市場規模為19.55億元,其配套材料市場規模為20.24億元。事實上,工藝技術水平與國外企業有著很大的差距,尤其是材料及設備都仍依賴進口。預計2017和2018年半導體制造用光刻膠市場規模將分別達到19.76億元和23.15億元,其配套材料市場規模將分別達到22.64億元和29.36億元。在28nm生產線產能尚未得到釋放之前,ArF光刻膠仍是市場主流半導體應用廣泛,需求增長持續性強。近些年來,全球半導體廠商在中國大陸投設多家工廠,如臺積電南京廠、聯電廈門廠、英特爾大連廠、三星電子西安廠、力晶合肥廠等。諸多半導體工廠的設立,也拉動了國內半導體光刻膠市場需求增長。
光刻膠趨勢
半導體光刻膠領域全球市場規模趨于穩定, 2017年全球市場約13.5億美元;國內市場約20.2億元,近5年復合增速達12%。受全球半導體市場復蘇和國內承接產業轉移,預計全球光刻膠市場將保持穩定增速,國內市占率穩步抬升。
光刻膠生產、檢測、評價的設備價格昂貴,需要一定前期資本投入;光刻膠企業通常運營成本較高,下游廠商認證采購時間較長,為在設備、研發和技術服務上取得競爭優勢,需要足夠的中后期資金支持。企業持續發展也需投入較大的資金,光刻膠行業在資金上存在較高的壁壘,國外光刻膠廠商相對于國內廠商,其公司規模更大,具有資金和技術優勢。經過2、3小時的日曬,透光部分的瀝青明顯變硬,而不透光部分瀝青依然軟并可被松香和植物油的混合液洗掉。
總體上,光刻膠行業得到國家層面上的政策支持。《國家集成電路產業發展推進綱要》,提出“研發光刻機、刻蝕機、離子注入機等關鍵設備,開發光刻膠、大尺英寸硅片等關鍵材料”;國家重點支持的高新技術領域(2015)中提到“高分辨率光刻膠及配套化學品作為精細化學品重要組成部分,是重點發展的新材料技術”;光刻技術(包括光刻膠)是《中國制造 2025》重點領域。為了保證線寬的重復性和接下去的顯影時間,同一個樣品的膠厚均勻性和不同樣品間的膠厚一致性不應超過±5nm(對于1。