電力真空箱檢漏系統廠家直供【科儀創新真空】

氦質譜檢漏儀的基本原理與結構

隨著科技的迅猛發展，氦質譜檢儀及其應用技術也在不斷發展和究善。各國的設備廠商相繼推出了多種類烈的氦質譜檢涮儀，廣泛應用丁航空航天，電力電子，汽車等各個行業，綜觀較新氦質譜檢漏儀的性能特點發現，氦質譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進方向發展，這些特點很好地滿足了當前檢漏應用的需求，也極大的推動了氮質譜檢漏技術的不斷發展。真空法氦質譜檢漏采用真空法檢漏時，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產品內部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產品外表面施氦氣，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入被檢產品內部，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現被檢產品泄漏量測量。氦質譜檢漏儀的基本原理與結構氦質譜檢漏儀一般由質譜管，真空系統和電子系統組成。其中質譜管包括離子源，質量分析器和離子檢測器; 真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入質分析器，

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。

離子檢測器的作用是手機質量分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率

真空系統的作用是獲取質譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統的不同結構，檢漏儀分為常規系統和逆擴散兩種。4、在氦兩側的是氫（質荷比為2）和雙電荷原子碳（質荷比為6），質荷比都與氦相差較大。常規系統多用于早期的氦質譜檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會對質譜管有污染。逆擴散系統檢漏儀與常規系統相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質譜管，不會對系統有污染，因此被廣泛采用，已成為市場的主流的產品。

機械泵的工作方式不一樣，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出，污染工作環境，干泵沒有油霧排出對工作環境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。

氦質譜檢漏儀的應用拓展（四）

（1）制冷行業

冰箱、空調、汽車用空調、蒸發器、冷凝器、奪縮機、低溫儲槽。

（2）不銹鋼保溫器皿

真空保溫杯、瓶、鍋、飯盒等。

（3）其它

據日本有關文章介紹，日本汽車制造業，已有30多種零部件在使用氦質譜檢漏儀檢漏，解決密封問題。其中包括液壓系統、制動系統、轉向系統、避震系統、汽車輪轂。

有待于開拓的檢漏領域還很多，但由于思想觀念的束縛以及經費等諸多原因，在很多領域還一直沿用古老且較為落后的手段處理泄漏問題。產品合格率和生產效率低。今天科儀創新小編和大家分享的是氦質譜檢漏的工作原理，希望對您有所幫助。從某種意義上講，這種工作方式制約了生產力的發展。因此，對于真空專業技術人員，特別是從事真空設備的研制和生產氦質譜檢漏儀的專業廠家，應在氦質譜檢漏儀的應用推廣上進一步下功夫，為推動我國真空技術的發展而努力。

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氦氣檢漏的基本功能（部分功能可選配）

1、對被檢工件充注高壓氮氣或壓縮空氣進行耐壓強度和大漏氣密性檢驗；

2、對被檢工件抽真空；

3、對被檢工件充注氦氣；

4、真空箱法氦質譜檢測，自動判斷工件漏率合格與不合格；

5、回收并循環使用氦氣；

6、如果氦氣浪費嚴重，可以將使用過程中濃度不合格的氦氣進行提純

7、PLC控制，觸摸屏操作，自動檢測。

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氦氣檢漏

氦質譜檢漏的檢測精度高，可達到1×10-7Pa·m3/s。電池氦檢前先將電池里的空氣抽掉，然后注入氦氣，用氦質譜檢漏儀探測有沒有氦氣漏出，從而判斷電池的氣密性是否完好。氦質譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可準確定位，定量漏點，替代傳統泡沫檢漏和壓差檢漏，目前已廣泛應用于光無源器件的檢漏。電池氦檢一般為兩種方式：一種是在電池生產的中間環節，即在電池烘干注液之前進行檢漏，電芯在真空箱內充氦氣及檢測，此法可以檢測電池蓋板、蓋板焊接及電芯殼體等部位的氣密性是否達標；另一種是在成品環節檢漏，電芯在箱外充氦，電芯注入電解液的同時將氦氣充入電芯內部，然后將電池放入真空箱內進行檢漏。