馬鞍山拋光白布的質(zhì)量誠(chéng)信企業(yè)推薦 昆山新光速光電

拋光布材質(zhì)分類：

　　真絲絲絨：長(zhǎng)絨毛真絲料，鋼鐵,高精密材料或鋁、銅、鎂等軟材料拋光或精拋光;

　　植 絨：.短絨毛綿料，堅(jiān)固耐用，常用于鋼鐵材料，電子行業(yè)電路板，軟金屬的拋光 ;

　　帆 布：無(wú)絨毛綿料，使用于鋼鐵材料的粗拋光;

　　絲 綢：沒(méi)有絨毛，使用于含有石墨或夾雜物等組織的拋光;

　合成高分子材料(無(wú)絨毛)，多空性：.和金剛石、氧化鋁、二氧化硅懸浮液配套使用，適用于多種材料(尤其是極軟材料如鈦、銅、銀等)的后精拋光(尤其是機(jī)械/化學(xué)同時(shí)進(jìn)行的拋光);

磨料相對(duì)工件的硬度對(duì)磨料的作用機(jī)制有著重要影響。當(dāng)磨粒硬度相對(duì)工件太大時(shí), 在拋光壓力作用下很容易導(dǎo)致磨粒嵌入工件表面,在拋光表面殘留劃

痕磨蝕坑;磨粒硬度相對(duì)于工件太小時(shí),又會(huì)延長(zhǎng)加工時(shí)間。研究表明拋光過(guò)程中納米磨料所發(fā)生的自身變形量與磨料的硬度成反比,硬度低的納米磨

料由于自身變形量大,切入工件的深度小,工件拋光表面粗糙度低。

 拋光墊是化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)系統(tǒng)的重要組成部分。它具有貯存拋光液,并把它均勻運(yùn)送到工件的整個(gè)加區(qū)域等作用。

     拋光墊的性能主要由拋光墊的材料種類、材料性能、表面結(jié)構(gòu)與狀態(tài)以及修整參數(shù)等決定。拋光墊的剪切模量或增大拋光墊的可壓縮性,CMP過(guò)程材料去除率增大;采用表面合理開(kāi)槽的拋光墊,可提高材料去除率,降低晶片表面的不均勻性;拋光墊粗糙的表面有利于提高材料去除率。對(duì)拋光墊進(jìn)行適當(dāng)?shù)男拚梢栽黾訏伖鈮|表面粗糙度、使材料去除率趨于一致。與離線修整相比較,在線修整時(shí)修整效果比較好。