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發布時間:2021-10-11 10:16  
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單向流潔凈室一般有兩種類型,即水平流和垂直流。在水平流系統中,氣流是從一面墻流向另一面墻。在垂直流系統中,氣流是從吊頂流向地面。對要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合,就使用單向氣流。以前稱這類潔凈室為“層流”潔凈室。單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況:氣流以一個方向流動(或是垂直的或是水平的),并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的均速流過整個空間。由滿布潔凈室吊頂的過濾器向室內送風。
空氣過濾器的選用布置和安裝方式,應符合:初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器;中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節系統的正壓段;空氣過濾器或亞空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節系統末端,空氣過濾的安裝方式應簡便可靠,宜檢漏和更換;中效、亞、空氣過濾器宜按額定風量選用;阻力、效率相近的空氣過濾器宜設置在同一凈化車間內。
潔凈室凈化工程檢測點的安置:依據中華人民共和國國家標準GBJ73-84《潔凈廠房設計規范》的規則:在對凈化車間進行潔凈度檢測時,檢測點應為距室內地坪1.00m的水平面內;關于單向流型凈化車間測點總數應不小于20點,測點間距為0.5-2.0m。水平單向流測點僅安置在一凈化車間工作區內;非單向流凈化車間按凈化車間面積小于或等于50m2安置5個測點。
我國的潔凈室工程開始于20世紀60年代初,在70年代電子工業潔凈室特別是半導體集成電路用潔凈室的規劃、建造開展很快,相繼建成一批潔凈廠房,并研制成功100級單向流潔凈室;與此同時,潔凈廠房用設備和資料,如過濾器,潔凈工作臺、層流罩、潔凈烘箱、空氣吹淵室、凈化型傳遞窗等相繼研制成功,并投入出產,雖然制作質量和某些工程指標與世界水平尚有差距,但已能滿足國內部分需求,到20世紀70年代末我國潔凈室規 劃、建造和潔凈工程的開展走向成熟階段。