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發布時間:2020-11-12 09:07  
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ST系列鍍膜機
ST系列鍍膜機系我司標準化產品,滿足大部分實驗室科研需求,豐富的可選配置也可響應您的特殊需要。特點:1、集成一體化結構。
2、極限真空度高,可達7×10-5Pa,可保證更高的鍍膜純凈度,提高鍍膜質量。
3、從大氣到工作背景真空(7×10-4Pa)時間短,30分鐘左右(充干燥氮氣)。 系統停泵關機12小時后真空度:≤8Pa。
4、整機采用柜式結構,密封性能好,防塵防水,安全。
5、磁控、熱蒸發多種鍍膜方式可選。
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真空鍍膜機鍍制薄膜不均勻的解決方法
制的薄膜的均勻性都會受到某種因素影響。真空狀態需要抽氣系統來控制的,每個抽氣口都要同時開動并力度一致,這樣就可以控制好抽氣的均勻性,如果抽氣不均勻,在真空室內的壓強就不能均勻了,壓強對離子的運動是存在一定的影響的。當擴散泵油被電爐加熱時,產生的油蒸汽沿著導流管經傘形噴嘴向下噴出。另外抽氣的時間也要控制,太短會造成真空度不夠,但太長又浪費資源,不過有真空計的存在,要控制好還是不成問題的。
現代真空鍍膜機膜厚測量及監控方法
涂層的鍍膜機控制方法是直接的石英晶體微天平(QCM)的方法,該儀器可以直接驅動的蒸發源,通過PID控制回路傳動擋板,使蒸發率。只要儀器和系統控制軟件的連接,它可以控制涂層的全過程。但(QCM)的準確性是有限的,鍍膜機部分原因是其監測代替光學厚度的涂層質量。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。
此外,雖然QCM在低溫下非常穩定,但溫度高,它將成為對溫度很敏感。在長時間的加熱過程中,鍍膜機很難避免傳感器為敏感的區域,導致薄膜的重大錯誤。 光學監測是一種涂層優選的監控模式,鍍膜機這是因為它能準確控制膜的厚度(如果使用得當)。
精度的提高,由于許多因素,但根本的原因是光學厚度的監測。optimalswa-i-05單一波長的光學監測系統,是間接控制,鍍膜機先進的光學監測軟件結合王博士的發展,有效地改善和靈敏度變化的光反應的膜厚度的減少終的誤差的理論方法,提供監測波長的反饋或傳輸模式的選擇和廣泛的。特別適用于涂布各種薄膜厚度監控包括不規則的膜。多功能真空鍍膜機真空鍍膜機工作時,需要先抽真空,使真空室處于真空狀態,再進行鍍膜。