豐派離子滲氮的行業須知「豐熱科技」

湖北豐熱科技有限公司（原武漢離子熱處理研究所），專業制造輝光離子滲氮爐的高新技術企業；是集研發、生產、銷售安裝輝光離子滲氮爐，并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術服務。

脈沖或正弦半波中頻靶電源的單個脈沖的氣體放電應與直流氣體放電伏-安特性曲線異常輝光放電段及之前段的變化規律相符。在放電開始前間隙中必須存在大量的種子電子，而長壽命的亞穩態及其彭寧電離可以提供這些種子電子?？梢詫⑵湟暈闅怏w放電伏-安特性在單個脈沖的放電中的復現。脈沖直流靶電源在脈沖期間起輝濺射，在脈沖間隙自然滅輝(因頻率較高，肉眼難以分辨)。??

兩種靶電源不同之處：選用(工藝型)雙極矩形波或正弦波中頻靶電源，因其輸出的電壓和電流的占空比可以大范圍連續調節，鍍膜時電源的工藝參數適應范圍比“經濟型”中頻靶電源要寬很多；56MHZ)輝光放電離子體中形成非對稱放電，面積小的那個電容耦合陰極有可能形成并建立陰極靶表面的負偏壓，并能產生濺射。適用于需要經常變化的磁控濺射鍍膜工藝和不同材質的膜層。?(經濟型)雙極性矩形波或正弦波中頻靶電源的輸出電壓或電流的工藝調節范圍偏窄，若相關參數選配合適，一般可用于磁控濺射鍍膜工藝相對固定和單一的工業生產中，其優點是靶電源價格可以相對便宜。??

1992年，Roth小組在5mm氦氣間隙實現了APGD，并聲稱在幾個毫米的空氣間隙中也實現了APGD, 主要的實驗條件為濕度低于15% 、氣體流速50l/min、頻率為3kHz的電源并且和負載阻抗匹配。他們認為“離子捕獲”是實現APGD的關鍵?？捎糜诓讳P鋼模具的滲氮，利用離子的轟擊作用，可以內動去除不銹鋼、耐熱鋼模具表面的鈍化膜，可直接進行不銹鋼模具的滲氮。

法國的Massines小組、加拿大的Radu小組和俄羅斯的Golubovskii小組對APGD的形成機理也進行了比較深入的研究工作。Massines小組對氦氣和氮氣的APGD進行了實驗研究和數值模擬 ，除了測量外加電壓和放電電流之外，他們用曝光時間僅10ns的ICCD相機拍攝了時間分辨的放電圖像，用時空分辨的光譜測量記錄了放電等離子體的發射光譜，并結合放電過程的一維數值模擬，他們認為，氮氣中的均勻放電仍屬于湯森放電，而氦氣中均勻放電才是真正意義上的輝光放電，或亞輝光放電。他們還認為，得到大氣壓下均勻放電的關鍵是在較低電場下緩慢發展大量的電子雪崩。具有高能量的氮離子轟擊工件表面，由動能轉化為熱能加熱工件，同時氮離子吸取電子還原成原子被工件表面吸收并向內層擴散。