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光學(xué)微電子凈化工程一般包括：

1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)

2、 潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）

3、 管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息等）

4、 設(shè)備區(qū)（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房）

光學(xué)微電子凈化工程凈化原理

氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過(guò)程，即可達(dá)到凈化目的。

光學(xué)微電子凈化工程凈化參數(shù)

換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次；10000級(jí)≥20次；1000≥30次。壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa

平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動(dòng)±2℃。

溫度45－65％；GMP車間濕度在50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。

噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10％－30％；照度300LX。

從大的方面來(lái)講，光伏新能源硅晶片生產(chǎn)包括硅單晶棒生產(chǎn)和光伏新能源硅晶片生產(chǎn)兩大部分，細(xì)分為以下幾道主要工序：

單晶棒生長(zhǎng)-單晶棒裁切和檢測(cè)-外徑磨削-切片-倒角（圓邊）-研磨/研磨片檢查-蝕刻（化學(xué)蝕刻、LP-CVD AP-CVD 等工藝）-PTA熱處理-背面損傷處理-拋光（ML粗拋、ML精拋）-洗凈-品質(zhì)檢查-潔凈包裝

從單晶棒生長(zhǎng)到外徑磨削為硅單晶棒生產(chǎn)工序，切片以后的流程為光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序。下面以某日資硅片廠為例，介紹光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序的空調(diào)凈化系統(tǒng)和自控系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。

凈化車間的應(yīng)用領(lǐng)域十分廣泛，不僅在商場(chǎng)、車站、學(xué)校、飯店等公共場(chǎng)所得到普遍應(yīng)用，在養(yǎng)殖場(chǎng)、工廠、車間、紡織、印染、玻璃、食品生產(chǎn)等工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域更是隨處可見。

凈化車間工程針對(duì)于其他電子信息行業(yè)以及衛(wèi)生行業(yè)，還有生物工程以及航空航天等等各種各樣的行業(yè)，也都是有著非常廣泛的應(yīng)用，在如此廣泛的應(yīng)用過(guò)程當(dāng)中，對(duì)于潔凈環(huán)境的打造來(lái)說(shuō)，必須要有專業(yè)的工作團(tuán)隊(duì)來(lái)進(jìn)行設(shè)計(jì)，才可以更好的保證使用效果，而且針對(duì)所有的工作人員，必須要保證接受正規(guī)的培訓(xùn)。

同時(shí)對(duì)于凈化車間工程的設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)，大家可以選擇專業(yè)的、好的團(tuán)隊(duì)，而且在施工的過(guò)程中也可以保證安全和穩(wěn)定的作用，對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范以及詳細(xì)的參數(shù)，都可以達(dá)到行業(yè)內(nèi)高的水準(zhǔn)，自然可以得到各行各業(yè)使用者的肯定，而且是發(fā)揮了相當(dāng)強(qiáng)大的作用和功能。