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發布時間:2020-12-30 10:56  
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凈化工程中的標準氣壓要求
針對絕大多數清潔空間,以便避免外部環境污染,必須維持內部的壓力(負壓)高于外界的壓力(負壓)。壓力差的保持一般應合乎下列標準:
1.清潔空間的壓力要高于非清潔空間的壓力。
2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于鄰近的潔凈度級別低的空間的壓力。
3.互通凈化室中間的門要開向潔凈度級別高的屋子。
壓力差的保持借助排風量,這一排風量要能賠償在這里一壓力差下從間隙漏泄掉的排風量。因此壓力差的物理意義便是漏泄(或滲入)排風量根據凈化室的各種各樣間隙時的摩擦阻力。
相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產溫度范圍為35—45%。我們國家的空氣分子控制等的技術正在朝有利的方向發展,這項技術原先是由日本發展起來的,現在已經受到了全世界的關注和認可,在我們國家,這項技術已經受到了相關行業的重視并且投入研發,相信在不久的未來,我們國家的相關科研人員一定會在這個領域取得讓人滿意的成績,為我們國家的凈化工程行業做出貢獻。而隨著凈化技術的發展,建設凈化車間的技術含量也越來越高,非專業人士不能也。除了在生產領域,凈化工程技術還會逐漸應用于家庭、公共場合,為人們提供更潔凈的生活空間
