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發布時間:2021-09-02 16:49  
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檢漏的重要性
氦質譜檢漏儀是一種精度很高的不停機查漏儀器,具有靈敏度高、抗干擾、不污染環境(以前的鹵素檢漏污染環境)、不危及安全生產(以前的燭光法不適用于氫冷發電機)等優點。泄漏和密封相對應,很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進或流出這個空間。如真空設備(真空鍍膜機,液晶注入機,PVD,半導體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進工作腔體,否則生產不能進行,或者產生次品,浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴重,一般會造成有效物資的浪費,如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至會釀成事故。
氦質譜檢漏儀的特點
氦質譜檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀,通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。而對氦的檢測則使用的是質譜儀,是只檢測氦的質譜儀,這種質譜儀將其它質量數的氣體都屏蔽掉了。氦質譜檢漏儀要想正常工作,需要真空環境。至少要在10-3mbar以下,空氣的流動才體現為分子流,氦質譜檢漏儀才能穩定正常工作。
氦質譜檢漏儀的優勢
科技信息化不斷更新迭代的市場,氦質譜檢漏儀的應用技術也在不斷發展和完善。一方面過去的氦質譜檢漏儀不能滿足現階段的一個需求,而且對檢漏儀提出新要求的情況下,檢漏儀設備不得不更新,另一方面每個行業的不足都在進步的過程,缺陷與不足相互補充,相互促進。而現在的氦質譜檢漏儀早已告別了四五十年代的初期情形,在性能和領域上都有新的突破。
氦質譜檢漏儀進展集中體現如下方面:
1.智能化:以往的氦質譜檢漏儀操作非常輔助,而現在的觸屏式,自動檢測。
2.便捷化:這幾年市場上各種小型便捷的檢漏儀能夠為行業提供小巧而靈敏性高的設備。
3.自動化程度高:自動校準氦峰,自動調節0點,量程自動轉換,自動數據處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成全檢漏過程。
4.全無油的干式檢漏:有些國家生產的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。
5.檢漏范圍寬:現今生產的四極檢漏儀,質量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。