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高壓電源是設備的關鍵技術之一，它主要為電子槍提供加速電壓，其性能好壞直接決定電子束焊接工藝和焊接質量。電子束焊機用高壓電源與其它類型的高壓電源相比，具有不同的技術特性,技術要求主要為紋波系數和穩定度，紋波系數要求小于1%，穩定度為±1%，甚至紋波系數小于0.5%，穩定度為±0.5%，同時重復性要求小于0.5%。電源IC種類繁多，共同特點有：工作電壓低：一般的工作電壓為3。以上要求均根據電子束斑和焊接工藝所決定。電子束焊機用高壓電源的操作是必須與有關系統進行連鎖保護，主要有真空連鎖、陰極連鎖、閘閥連鎖、聚焦連鎖等，以確保設備和人身安全。高壓電源必須符合EMC標準，具有軟起動功能，防止突然合閘對電源的沖擊。