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發(fā)布時間:2021-01-20 13:27  
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晶硅太陽能電池板的制作過程
晶硅太陽能光伏板的制做全過程
3、去磷硅玻璃該加工工藝用以太陽能電池片生產(chǎn)加工全過程中,根據(jù)有機(jī)化學(xué)浸蝕法也即把硅片放到鹽酸水溶液中侵泡,使其造成放熱反應(yīng)轉(zhuǎn)化成可溶的絡(luò)和物六氟硅酸,以除去外擴(kuò)散制結(jié)后在硅片表層產(chǎn)生的一層層磷硅玻璃。在外擴(kuò)散全過程中,POCL3與O2反映轉(zhuǎn)化成P2O5淀積在硅片表層。P2O5與Si反映又轉(zhuǎn)化成SiO2和磷分子,那樣就在硅片表層產(chǎn)生一層層帶有磷原素的SiO2,稱作磷硅玻璃。去磷硅玻璃的機(jī)器設(shè)備通常由本身、清理槽、伺服電機(jī)驅(qū)動器系統(tǒng)軟件、機(jī)械手臂、電氣系統(tǒng)和全自動配酸系統(tǒng)軟件等一部分構(gòu)成,關(guān)鍵能源有鹽酸、N2、空氣壓縮、純凈水,熱排風(fēng)系統(tǒng)和污水。鹽酸可以融解sio2由于鹽酸與sio2反映轉(zhuǎn)化成容易揮發(fā)的四氟化硅汽體。若鹽酸過多,反映轉(zhuǎn)化成的四氟化硅會深化與鹽酸反映轉(zhuǎn)化成可溶的絡(luò)和物六氟硅酸。
4、低溫等離子刻蝕因?yàn)樵谕鈹U(kuò)散全過程中,即便選用背對背外擴(kuò)散,硅片的全部表層包含邊沿都將難以避免地外擴(kuò)散上磷。PN結(jié)的反面所搜集到的光生電子器件會順著邊沿外擴(kuò)散有磷的地區(qū)流進(jìn)PN結(jié)的反面,而導(dǎo)致短路故障。因而,務(wù)必對太陽電池附近的夾雜硅開展刻蝕,以除去充電電池邊沿的PN結(jié)。一般 選用低溫等離子刻蝕技術(shù)性進(jìn)行這一加工工藝。低溫等離子刻蝕是在底壓情況下,反映汽體CF4的孕媽分子結(jié)構(gòu)在頻射輸出功率的激起下,造成電離并產(chǎn)生等離子技術(shù)。等離子技術(shù)是由感應(yīng)起電的電子器件和正離子構(gòu)成,反映波導(dǎo)管中的汽體在電子器件的碰撞下,除開轉(zhuǎn)化成正離子外,還能消化吸收動能并產(chǎn)生很多的特異性基團(tuán)。特異性反映基團(tuán)因?yàn)橥鈹U(kuò)散或是在靜電場功效下抵達(dá)SiO2表層,在那邊與被刻蝕原材料表層產(chǎn)生放熱反應(yīng),并產(chǎn)生揮發(fā)物的反映反應(yīng)物擺脫被刻蝕化學(xué)物質(zhì)表層,被超濾裝置抽出來波導(dǎo)管。
電池片各工序影響因素及異常情況
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電池片各工藝流程危害要素及異常現(xiàn)象
一回清理危害要素
1.溫度
溫度過高,先就是說IPA不太好操縱,溫度一高,IPA的蒸發(fā)迅速,汽泡印就會隨著出現(xiàn),那樣就大大減少了PN結(jié)的合理總面積,反映加重,還會出現(xiàn)影片的飄浮,導(dǎo)致殘片率的提升。可控性水平:調(diào)整設(shè)備的設(shè)定,能夠非常好的調(diào)整溫度。
2.時間金字塔式隨時間的轉(zhuǎn)變:金字塔式慢慢冒出;表層上基礎(chǔ)被小金字塔式遮蓋,少數(shù)剛開始成才;金字塔式滿布的絨面早已產(chǎn)生,僅僅尺寸不勻稱,透射率也降至較為低的狀況;金字塔式向外擴(kuò)大企業(yè)兼并,容積慢慢澎漲,規(guī)格趨向平等,透射率略微降低。可控性水平:調(diào)整機(jī)器設(shè)備主要參數(shù),能夠精準(zhǔn)的調(diào)整時間。
3.IPA1.幫助氡氣的釋放出來。2.變?nèi)鮊aOH水溶液對硅片的浸蝕幅度,調(diào)整各向系數(shù)。純NaOH水溶液在高溫下對分子排序較為稀少的100晶面和較為高密度的111晶面毀壞較為大,每個晶面被浸蝕而消溶,IPA顯著變?nèi)鮊aOH的浸蝕抗壓強(qiáng)度,提升了浸蝕的各向異性,有益于金字塔式的成型。酒精含水量過高,堿水溶液對硅水溶液浸蝕工作能力越來越太弱,各向異性系數(shù)又趨向3。可控性水平:依據(jù)初次配液的含水量,及每一次大概耗費(fèi)的量,來填補(bǔ)足量的液體,線性度不高。
電池片絲網(wǎng)印刷技術(shù)
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4.1 刮刀
從圖 5 的印刷原理示意中可以看出,刮刀的作用是將漿料以一定的速度和角度將漿料壓入絲網(wǎng)的漏孔中,刮刀在印刷時對絲網(wǎng)保持一定的壓力,刃口壓強(qiáng)在 10 ~ 15N / cm 之間,刮板壓力過大容易使絲網(wǎng)發(fā)生變形,印刷后的圖形與絲網(wǎng)的圖形不一致,也加劇刮刀和絲網(wǎng)的磨損,刮板壓力過小會在印刷后的絲網(wǎng)上存在殘留漿料。
刮刀材料一般為聚胺脂橡膠或氟化橡膠,硬度范圍為邵氏 A60° ~ A90° ,刮板條的硬度越低,印刷圖形的厚度越大,刮刀材料必須耐磨,刃口有很好的直線性,保持與絲網(wǎng)的全接觸;刮刀一般選用菱形刮刀,它具有 4 個刃口,可逐個使用,利用率高。
刮刀速度:刮刀速度是決定效率的大因素,以半自動印刷機(jī)為例,印刷所占時間一般為總循環(huán)的 2 / 3 ;印刷速度的設(shè)定由印刷圖形和印刷用漿料的黏度決定,速度越高,刮刀帶動漿料進(jìn)入絲網(wǎng)漏孔的時間越短,漿料的填充性會差,出現(xiàn)圖 7 所示現(xiàn)象,如果印刷線條精細(xì),速度應(yīng)低一些,圖 4 所示的正銀工序中柵線的線寬在 0.1 ~ 0.12nun ,一般速度設(shè)定在 200 ~ 250mm / s ,圖 3 所示的背鋁和背銀工序因印刷線條寬速度設(shè)定在 300mm / s ;印刷用漿料因不同工序而不同,相應(yīng)黏度不同,但總體黏度比較低,所以印刷速度較快;在實(shí)際的印刷中速度的恒定同樣很重要,如果在印刷過程中速度出現(xiàn)波動,會導(dǎo)致圖形厚度的不一致。