您好，歡迎來到易龍商務網！
發布時間：2021-09-16 16:09
【廣告】
氦質譜檢漏原理
氦質譜檢漏技術是以無色、無味的惰性氣體氦氣為示蹤介質、以磁質譜分析儀為檢測儀器，用于檢漏的一種檢測技術，它的檢漏靈敏度可達10-14～10-15Pa?m3/s，可以準確確定漏孔位置和漏率。氣密性要求：對于兩器產品，充注一定壓力R134a制冷劑，泄露量小于2克/年。氦質譜檢漏儀主要由質譜室、真空系統組件和電子學控制元件三大部分組成。質譜室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和機械泵之間，利用分子泵對不同氣體具有不同壓縮比的特點，氦氣逆著分子泵的抽氣方向進入質譜室。檢漏儀在質譜室中將氣體電離,這些離子在加速電場的作用下進入磁場，在洛倫茲力作用下發生偏轉,由于不同荷質比的離子具有不同的電磁學特性，偏轉半徑各不相同，在擋板的作用下，氦檢漏儀的收集板只允許帶正電的氦離子被接收到，單位時間到達收集板的氦離子對應于一個電流信號，這個電流信號正比于進入到達收集板氦離子的數量，電流信號經過放大后顯示在質譜儀的顯示面板上，其大小反映了泄漏點的漏率，通過泄漏率大小來確定該位置泄漏程度的大小。
氦質譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣,是因為氦氣具有以下優良特性：
①氦氣在空氣中的含量少，體積含量為5.24×10-6，如果氦氣在環境中的含量超過標準，可以比較容易地探測到極微量的氦氣；
②氦分子小、質量輕、易擴散、易穿越漏孔、易于檢測也易于清除；
③氦離子荷質比小，易于進行質譜分析；
④氦氣是惰性氣體，化學性質穩定，不會腐蝕和損傷任何設備；
⑤氦氣無毒，不凝結，極難容于水。
今天科創真空小編和大家分享的是氦質譜檢漏的工作原理，希望對您有所幫助！
真空箱式氦檢漏系統【工作環境】
科創真空——專業真空箱氦檢漏供應商，我們為您帶來以下信息。
工作環境:
1、長×寬×高（設備占地面積約）：依據實物實際面積為準。
2、電源：380 V±38 V，50 Hz±0.5 Hz，約22KW；
3、壓縮氣源及減壓器：0.6～0.8Mpa氮氣或干燥清潔壓縮空氣；
4、待檢工件要求清潔、干燥。
5、環境溫度： 5 ℃ ～ 35 ℃；
6、相對濕度： ≤80%；
7、氦氣源及減壓器：氦氣純度為 99％。
8、設備應安裝在通風良好的廠房內。
氦質譜檢漏儀的基本原理與結構
氦質譜檢漏儀一般由質譜管,真空系統和電子系統組成。與此同時，您卻得到泄漏指示，但是與測試對象遠離(幾英尺/分米)，因而原因不明。其中質譜管包括離子源，質量分析器和離子檢測器;真空系統-般由分子泵機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以-定能量注入質分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。子檢測器的作用是手機質星分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率
真空系統的作用是獲取質譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。空系統-般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統的不同結構，檢漏儀分為常規系統和逆擴散兩種。常規系統多用于早期的氦質譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度,但是會對質譜管有污染。逆擴散系統檢漏儀與常規系統相比，被檢件只與低真空相通,因
此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質譜管,不會對系統有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主品。
機械泵的工作方式不-樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出,污染工作環境，干泵沒有油霧排出對工作環境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。
