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              RR41光刻膠公司推薦廠家 北京賽米萊德公司

              發(fā)布時(shí)間:2020-12-17 07:35  

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              光刻膠趨勢

              半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域全球市場規(guī)模趨于穩(wěn)定, 2017年全球市場約13.5億美元;國內(nèi)市場約20.2億元,近5年復(fù)合增速達(dá)12%。受全球半導(dǎo)體市場復(fù)蘇和國內(nèi)承接產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移,預(yù)計(jì)全球光刻膠市場將保持穩(wěn)定增速,國內(nèi)市占率穩(wěn)步抬升。

              光刻膠生產(chǎn)、檢測、評價(jià)的設(shè)備價(jià)格昂貴,需要一定前期資本投入;光刻膠企業(yè)通常運(yùn)營成本較高,下游廠商認(rèn)證采購時(shí)間較長,為在設(shè)備、研發(fā)和技術(shù)服務(wù)上取得競爭優(yōu)勢,需要足夠的中后期資金支持。企業(yè)持續(xù)發(fā)展也需投入較大的資金,光刻膠行業(yè)在資金上存在較高的壁壘,國外光刻膠廠商相對于國內(nèi)廠商,其公司規(guī)模更大,具有資金和技術(shù)優(yōu)勢。正性光刻膠樹脂是一種叫做線性酚醛樹脂的酚醛甲醛,提供光刻膠的粘附性、化學(xué)抗蝕性,當(dāng)沒有溶解存在時(shí),線性酚醛樹脂會(huì)溶解在顯影液中,感光劑是光敏化合物,最常見的是重氮萘醌(DNQ)。

              總體上,光刻膠行業(yè)得到國家層面上的政策支持。《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》,提出“研發(fā)光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)等關(guān)鍵設(shè)備,開發(fā)光刻膠、大尺英寸硅片等關(guān)鍵材料”;LCD市場助力全球LCD面板總出貨面積增長,LCD光刻膠需求增加。國家重點(diǎn)支持的高新技術(shù)領(lǐng)域(2015)中提到“高分辨率光刻膠及配套化學(xué)品作為精細(xì)化學(xué)品重要組成部分,是重點(diǎn)發(fā)展的新材料技術(shù)”;光刻技術(shù)(包括光刻膠)是《中國制造 2025》重點(diǎn)領(lǐng)域。


              PR1-1500A1RR41光刻膠公司

              正性光刻膠的金屬剝離技術(shù)

              正性膠的金屬剝離工藝對于獲得難腐蝕金屬的細(xì)微光刻圖形比常規(guī)的光刻膠掩蔽腐蝕法顯示了優(yōu)越性。本文首先對金屬剝離工藝中的正、負(fù)光刻膠的性能作了對比分析。認(rèn)為正性光刻膠除圖形分辨率高而適應(yīng)于微細(xì)圖形的掩膜外,它還具有圖形邊緣陡直, 去膠容易等獨(dú)特性能,比負(fù)性光刻膠更有利于金屬剝離工藝。然后給出了具體的工藝條件,并根據(jù)正性光刻膠的使用特點(diǎn)指出了工藝中的關(guān)鍵點(diǎn)及容易出現(xiàn)的問題。在前烘過程中,由于溶劑揮發(fā),光刻膠厚度也會(huì)減薄,一般減薄的幅度為10%-20%左右。如正性光刻膠同GaAs表面的粘附性較差,這就要求對片子表面的清潔處理更為嚴(yán)格。為了高止光刻圖形的漂移控制光刻圖形的尺寸,對曝光時(shí)同特別是顯影液溫度提出了嚴(yán)格的要求。由于工藝中基本上不經(jīng)過腐蝕過程,膠膜的耐腐蝕性降到了次要地位。


              NR9-1000py

              問題回饋:

              1.我們是LED制造商,麻煩推薦幾款可以用于離子蝕刻和Lift-off工藝的光刻膠。

              A 據(jù)我所知,F(xiàn)uturrex

              有幾款膠很,NR7-1500P

              NR7-3000P是專門為離子蝕刻

              設(shè)計(jì)的,NR9-3000PY可以用于Lift-off上的應(yīng)用。

              2.請問有沒有可以替代goodpr1518,Micropure去膠液和goodpr顯影液的產(chǎn)品?

              A 美國光刻膠,F(xiàn)uturrex

              正膠PR1-2000A

              , 去膠液RR4,和顯影液RD6可以解決以上問題。

              3.你們是否有可以替代Shipley

              S1805的用于DVD的應(yīng)用產(chǎn)品?

              A 我們建議使用Futurrex

              PR1-500A , 它有幾個(gè)優(yōu)點(diǎn):比較好的解析度,比較好的線寬控制,

              反射比較少,不需要HMDS,RIE后去除容易等~

              4. 求助,耐高溫的光阻是那一種?

              A Futurrex, NR7 serious(負(fù)光阻)Orpr1 serious(正光阻),再經(jīng)過HMCTS

              silyiation process,可以達(dá)到耐高溫200度,PSPI透明polyimide,可耐高溫250度以上。

              5.厚膜光阻在鍍金應(yīng)用上,用哪一種比較理想?

              A Futurrex , NR4-8000P比干膜,和其他市面上的濕膜更加適合,和理想。

              6.請教LIFT-OFF制程哪一種光阻適合?

              A 可以考慮使用Futurrex

              ,正型光阻PR1,負(fù)型光阻用NR1&NR7,它們都可以耐高溫180度,完全可以取代一般制作PATTERN的光阻。

              7.請問,那位專家知道,RIE

              Mask,用什么光阻比較好?

              A 正型光阻用PR1系列,負(fù)型光阻使用NR5,兩種都可以耐高溫180度。

              8.一般厚膜制程中,哪一種光阻適合?

              A NR9-8000P有很高的深寬比(超過4:1),一般厚膜以及,MEMS產(chǎn)品的高需求。

              9.在DEEP

              RIE和MASK 可以使用NRP9-8000P嗎?

              A 建議不使用,因?yàn)槭褂肗R5-8000更加理想和適合。

              10.我們是OLED,我們有一種制程上需要一層SPACER,那種光阻適合?

              A 有一種膠很適合,美國Futurrex

              生產(chǎn)的NR1-3000PY

              and和

              NR1-6000PY,都適合在OLED制程中做spacers



              發(fā)展

              Futurrex在開發(fā)產(chǎn)品方面已經(jīng)有很長的歷史

              我們的客戶一直在同我們共同合作,創(chuàng)造出了很多強(qiáng)勢的專利產(chǎn)品。

              在晶體管(transistor) ,封裝,微機(jī)電。顯示器,OLEDs,波導(dǎo)(waveguides) ,VCSELS,

              成像,電鍍,納米碳管,微流體,芯片倒裝等方面。我們都已經(jīng)取得一系列的技術(shù)突破。

              目前Futurrex有數(shù)百個(gè)專利技術(shù)在美國專利商標(biāo)局備案。

              Futurrex 產(chǎn)品目錄

              正性光刻膠

              增強(qiáng)粘附性正性光刻膠

              負(fù)性光刻膠

              增強(qiáng)粘附性負(fù)性光刻膠

              先進(jìn)工藝負(fù)性光刻膠

              用于lift-off工藝的負(fù)性光刻膠

              非光刻涂層

              平坦化,保護(hù)、粘接涂層

              氧化硅旋涂(spin-on glas)

              摻雜層旋涂

              輔助化學(xué)品

              邊膠清洗液

              顯影液

              去膠液

              Futurrex所有光刻產(chǎn)品均無需加增粘劑(HMDS)


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