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發布時間：2021-03-05 10:09
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氦質譜檢漏儀的主要配置
科儀創新產品主要有：薄膜制備設備，真空冶金設備，檢漏設備，真空系統等非標真空產品；氦質譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可準確定位，定量漏點，替代傳統泡沫檢漏和壓差檢漏，目前已廣泛應用于光無源器件的檢漏。系列分子泵，離子泵，鈦升華泵，深冷捕集泵等高真空獲得設備；系列干式渦旋泵，干式爪泵，干式螺桿泵等無油真空獲得設備；超高真空環境模擬設備等高新技術產品。今天科儀創新的小編就和大家分享一下氦質譜檢漏儀的主要配置有哪些，希望對您有所幫助！
1. 檢漏儀專用分子泵
2. 機械泵或者干泵
3. 定制檢漏儀專用電磁閥
4. 內置標準漏口
5. 放大器
6. 采用質譜專用模塊
以上是科儀創新為您一起分享的內容，科儀創新專業生產氦檢漏，歡迎新老客戶蒞臨。
氦質譜檢漏儀的基本原理與結構
隨著科技的迅猛發展，氦質譜檢儀及其應用技術也在不斷發展和究善。各國的設備廠商相繼推出了多種類烈的氦質譜檢涮儀，廣泛應用丁航空航天，電力電子，汽車等各個行業，綜觀較新氦質譜檢漏儀的性能特點發現，氦質譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進方向發展，這些特點很好地滿足了當前檢漏應用的需求，也極大的推動了氮質譜檢漏技術的不斷發展。整機由微機控制，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。氦質譜檢漏儀的基本原理與結構氦質譜檢漏儀一般由質譜管，真空系統和電子系統組成。其中質譜管包括離子源，質量分析器和離子檢測器; 真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入質分析器，
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。
離子檢測器的作用是手機質量分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率
真空系統的作用是獲取質譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。3）電力行業中，電廠的檢漏、高壓變壓器、高壓電容器、高壓開關管及其它元器件也都相應的采用氦質譜檢譜檢漏儀，用不同方法進行檢漏。按照真空系統的不同結構，檢漏儀分為常規系統和逆擴散兩種。常規系統多用于早期的氦質譜檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會對質譜管有污染。逆擴散系統檢漏儀與常規系統相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質譜管，不會對系統有污染，因此被廣泛采用，已成為市場的主流的產品。
機械泵的工作方式不一樣，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出，污染工作環境，干泵沒有油霧排出對工作環境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。
氦質譜檢漏儀的進展
經過近半個世紀的努力，今天的氦質譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。
集中體現在如下幾個方面：
（1）便攜式：近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。
（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。
（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。
（5）檢漏范圍寬：現今生產的四極檢漏儀，質量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。
分子泵排氣系統取代擴散泵排氣系統，不僅解決了油蒸氣對質譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同，分子泵一般采用多級構造和幾種不同的轉速。
例如：瑞士、日本采用改變分子泵轉速來達到此目的，且提高檢漏靈敏度。
另外，逆擴散檢漏方式，實現了高壓強下檢漏，也為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。
氦氣檢漏的主要參數及優勢
1、關鍵零部件全球集優采購，保證了系統的穩定性和可靠性；
2、真空箱內氦氣本底抑零，保證了檢漏的準確性、；
3、特有的清氦系統，快速有效地清除超標的氦本底，保證檢測的穩定性和準確性；
4、實時監測氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測的精度；
5、可對使用過程中產生的濃度不合格氦氣進行提純，極大降低氦氣損耗（功能可選）；
6、可同時檢測多工件，并能按照需求自動判斷出具體的有漏工件；
7、專業定制的的密封接頭，穩定可靠，減少誤判。
8、觸摸屏實時顯示監測數據和運行參數，監控一目了然。
9、電氣控制系統的連鎖保護及聲光報警功能，確保了系統的操作安全及可靠運行。
今天和大家分享的是氦氣檢漏的主要參數及優勢，希望對您有所幫助！
