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發布時間：2020-12-19 06:46
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高純氣體管道配管
所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設備用點(POU)，為了達到工藝對氣體的質量要求，在氣體出口指標一定的情況下，則更需重視配管系統的材料選用和施工質量。除取決于制氣或凈化設備的精度外，在很大程度上受到管路系統諸多因素的影響，因此，管材的選取應恪守相關行業原則，并在圖紙中注明管道材質。第二，氣體管路工程中很重要的是鋼瓶間和管路的設計安裝及各個輔助元件的選擇和安裝。
管路的材質則依使用的需求進行選擇，若為制程用的反應氣體則選擇高等級的316L EP管，經電解拋光(Electro-Polish)處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下，其值遠低于經過光輝燒結(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應的氣體，如GN2、CDA。管內表面粗糙度是衡量管材質量的標準。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經特殊處理的AP管(Annealing & Picking)，則用于不做為供氣管路的雙套外管。給水或其他液體管道在最i高點設有排氣裝置，排除積存在管道內的空氣或其他氣體，以防止氣阻造成運行失常。
實驗室氣路優點
在實驗室氣路設計安裝中，常采用集中供氣的方式輸送高純氣體，有以下優點：
1、保持氣體純度
專用氣瓶均配有沖洗閥，以排除每次更換氣瓶時引入的雜質，確保了管路終端氣體的純度。
2、不間斷氣體供應
氣路控制系統可以手動或自動方式在氣瓶之間進行切換，以保證氣體的連續供給。
3、低壓警示
當氣壓低于警報限時，報警裝置可自動啟動報警。
4、氣體壓力穩定
系統采用兩級減壓(一級由供氣控制系統調節，二級由使用點的控制閥調節)方式供氣，可得到非常穩定的壓力。
5、率
通過供氣控制系統，可充分使用鋼瓶中的氣體，減少殘氣余量，降低用氣成本。
6、操作簡便
所有氣瓶均集中在同一位置，減少了搬運安裝等操作，更節約時間及成本費用。
7、減少氣瓶的租金
采用中央供氣系統，可減少對氣瓶數量的要求，從而節省氣瓶的租用和購買成本。
8、減少分子篩損耗
控制氣體純度可有效地減少數派對分子篩的使用量(節約成本)。
9、無氣瓶在實驗室中
采用中央供氣系統意味著實驗室中沒有氣瓶裝備，有如下好處：
---提高安全性。氣瓶可能倒地而導致損壞或傷害。
---提高安全感。氣瓶可能導致氣體泄漏、火災等危險情況。
---節省空間。從實驗室移走氣瓶可空出更多的實驗空間。
10、其它好處
---降低控制閥的損壞和丟失率。
---縮短氣閥與儀器間的連接管路的長度，更為方便
工業氣體到底用在什么地方？
工業氣體是指氧、氮、Ar、Ne、氦、Kr、氙、氫、二氧化碳、乙i炔、天i然氣等。由于這些氣體具有固有的物理和化學特性，因此在國民經濟中占有舉足輕重的地位，推廣應用速度非常快，幾乎滲透到各行各業。
工業氣體用量多的傳統產業有：煉鋼、煉鐵、有色金屬冶煉、化肥生產、乙稀、丙稀、聚氯乙稀、人造纖維、合成纖維、硅膠橡制品、電纜和合成革等石油化學工業、機械工業中的焊接，金屬熱處理、氦扦漏等，浮法玻璃生產等。由于這些傳統產業在近幾年發展迅速，工業氣體的用量也達到高峰。氣體管道安裝在實驗室設計領域中，實驗室供氣系統的規劃設計是相當重要的。
工業氣體用量正在掘起的產業有：煤礦滅火、石油開采、煤氣化和煤液化，玻璃熔化爐、水泥生產窯、耐火材料生產窯，磚瓦窯等工業爐窯、食品速凍，食品氣調包裝、啤酒保鮮、光學、國i防工業中的燃料、超導材料生產、電子、半導體、光纖生產、農業、畜牧業、魚業、廢水處理、漂白紙漿、垃圾焚燒、粉碎廢舊輪胎等環保產業、建筑、氣象、文化、文i物保護、體育運動、公i安破案、醫i療保健產業中的冷刀、重危病i人吸氧、高壓氧冶療、人體器管低溫冷藏、麻i醉技術及氧吧等。即使是干燥的氯i化氫和氯i氣，高濃度時也不能儲存在鋁合金氣瓶中。
工業氣體應用正在試驗中的產業有：固體氮生產，燃料電池生產，磁性材料生產，超細加工，天然i氣發電，壓縮天i然氣汽車，氫能汽車生產等。
工業氣體用量較多的產業，如鋼鐵、化肥、化工、玻璃及化纖行業均自建氣體生產設備，實行自產自銷的企業經營方針，一些工業氣體用量較少的產業，主要依靠市場購買工業氣體。因此工業氣體的液體市場正在掘起，應用領域也越來越廣泛。
