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發布時間:2020-11-12 10:49  
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而采用噴淋的方式卻可以 達到通過大氣中氧的作用將一價銅轉換成二價銅, 并去除一價銅, 這就是需要將空氣通入 蝕刻箱的一個功能性的原因。 但是如果空氣太多﹐又會加速溶液中的氨的損失而使 PH 值下 降﹐使蝕刻速率降低。但不管怎樣,這種工藝過程,卻經歷了二十多年的發展,直到目前為止,還不能完全取消這種傳統工藝。 氨在溶液中的變化量也是需要加以控制的, 有一些用戶采用將純氨 通入蝕刻儲液槽的做法, 但這樣做必須加一套 PH 計控制系統, 當自動監測的 PH 結果低于默 認值時﹐便會自動進行溶液添加。 在相關的化學蝕刻(亦稱之為光化學蝕刻或 PCH)領域中﹐研究工作已經開始﹐并達至 蝕刻機結構設計的階段。
這就要選擇容易 再生和補償, 而蝕刻速率又容易控制的蝕刻液, 并 選用能提供恒定的操作條件和能自動控 制各種溶液參數的工藝和設備, 通過控制溶銅量、 PH 值、 溶液的濃度、 溫度及溶液流量 的均勻性(噴淋系統或噴嘴, 以至噴嘴的擺動)等來實現蝕刻速率的一致性。 3. 提高基板表面的蝕刻速率的均勻性 基板的上下兩面以及板面上各部位的蝕刻的均勻性, 皆決定于板表面受到蝕刻劑流 量的均勻性所影響。此方法所使用的溶液為二價銅,不是氨-銅蝕刻,它將有可能被用在印制電路工業中。 在蝕刻的過程中﹐上下板面的蝕刻速率往往并不一致。 一般來說﹐下板面的蝕刻速 率會高于上板面。