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發(fā)布時(shí)間：2021-09-13 16:47
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小型真空泵指的就是微型真空泵，因?yàn)轶w積小通常把微型真空泵叫做小型真空泵。微型真空泵（即小型真空泵)是指：具備一進(jìn)一出的抽氣嘴、排氣嘴各一個(gè)，并且在進(jìn)口處能夠持續(xù)形成真空或負(fù)壓；排氣嘴處形成微正壓；工作介質(zhì)主要為氣體，體積小巧的一種儀器。
旋片式真空泵漏油，可以發(fā)生在軸封，油箱與泵零部件的密封面，放油塞、油標(biāo)、油孔悶頭，定子部件與支座的通孔銜接處，氣鎮(zhèn)閥等部位。可由密封件老化，裝置不當(dāng)，運(yùn)行時(shí)間久損壞，外表不平整，有雜質(zhì)，粗糙和鑄件疏松等引起。解決之道：放干凈泵內(nèi)的所有真空泵油，更換同類型的真空泵油，并解決被抽氣體中水蒸氣和雜質(zhì)不進(jìn)入泵內(nèi)。假如停泵后返油，油會(huì)進(jìn)入氣鎮(zhèn)閥，不關(guān)氣鎮(zhèn)閥可能會(huì)漏油。發(fā)生這些現(xiàn)象時(shí)可遂一檢查這些部位，如有損壞的更換即可。
由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對泵有一定的抽速，兩者組合起來，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
