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發布時間:2021-09-14 12:40  
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什么是流量控制器
質量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。質量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點:精度高,重復性好。(3)地定量控制流量質量流量控制器可以地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。
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流量控制器的特點
地定量控制流量
質量流量控制器可以地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制、對于不同氣體的比例控制等特別有用。
適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍,我們的產品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(包括一些腐蝕性氣體,如HCL);假設流管橫置,熱探頭壁面與流體溫差為60*C,則當流體流速大于1m/s時,G/e2<。有很寬的流量范圍,我們的產品流量范圍可達0~5 sccm,流量范圍可達0~200 slm。流量顯示的分辨率可達滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2~100% 量程比為-- 50:1, 因此在很多領域得到廣泛應用。
流量控制器的性能參數
流量控制器的特點是:當自力式流量控制閥進口、出口壓差變化時,通過自力式流量控制閥的流量恒定不變。
流量控制器的性能參數有:流量控制精度、工作壓差范圍、啟動壓差
工作壓差范圍指的是當流量控制器進口、出口壓差變化在多大范圍時,能保持通過流量控制器的流量恒定不變。行業標準中規定工作壓差范圍0.03-0.3MPa,A類產品工作壓差范圍達到0.03-0.4MPa。工作壓差范圍的大小取決于自力式流量控制閥的設計。流量控制器的性能特點可按設計或實際要求設定流量,能自動消除系統的壓差波動,保持流量不變。
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流量控制器
越來越多的朋友對氣體質量流量計﹑質量流量控制器產生了濃厚的興趣。
質量流量控制器, 即Mass Flow Controller(縮寫為MFC), 不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。(4)適用范圍寬有很寬的工作壓力范圍,我們的產品可以從真空直到10MPa。