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發布時間:2020-12-12 14:01  
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電子束蒸發鍍膜機是由哪些部分組成的?
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設備組成:
設備由薄膜沉積室、真空獲得系統、真空測量系統、電子束蒸發系統、水冷卻循環系統、膜厚監測及控制系統、安全保護系統組成。
作用:電子束蒸鍍常用來制備Al、CO、Ni、Fe的合金或氧化物膜,SiO2、ZrO2膜,抗腐蝕和耐高溫氧化膜。
電子束蒸發鍍膜機技術特點介紹
采用了超高真空密封技術,極限真空度高,蒸發室可進入10-5Pa量級(≤5×10-5Pa電子槍靜止狀態),可保證更高的鍍膜純凈度,提高鍍膜質量。
超高真空密封主要采用如下技術:玻璃金屬焊接技術、陶瓷金屬焊接技術、刀口無氧銅金屬密封技術等,整機主要采用金屬密封技術,前開門用氟膠圈,真空管路用不銹鋼金屬波紋管路(不用橡膠管路),采用高真空閥門。
沈陽鵬程真空技術有限責任公司以誠信為首 ,服務至上為宗旨。公司生產、銷售電子束產品,公司擁有強大的銷售團隊和經營理念。想要了解更多信息,趕快撥打圖片上的熱線電話!
電子束蒸發鍍膜設備簡介
沈陽鵬程真空技術有限責任公司專業生產、銷售電子束,我們為您分析該產品的以下信息。
高真空電子束蒸發鍍膜設備采用完全封閉的系統框架,結構緊湊,外觀更漂亮,使用更安全。DZS800型電子束鍍膜設備主要用途:用于制備導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜等,批量生產型。6-10KW e型電子槍可選國產或進口,可選配離子束清洗及輔助鍍膜功能。該設備廣泛應用于科研院所、高校在片狀、半球狀、異形基底表面制備金屬/化合物(ITO等氧化物)/導電薄膜/光學薄膜等。