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發(fā)布時(shí)間:2021-03-14 23:38  
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凈
一、凈化車間共有五部分組成:
1、隔間
凈化車間隔間分為三大部分,更衣室,千級區(qū)和百級區(qū),更衣室與千級區(qū),千級區(qū)和百級區(qū)均設(shè)風(fēng)淋室(airshower),凈化車間與室外設(shè)有物品出入通道傳遞箱(passbox).當(dāng)人員進(jìn)入凈化車間時(shí),首先要經(jīng)過風(fēng)淋室,對人體所帶的灰塵吹淋,減少人員帶入凈化車間的灰塵.傳遞箱則是對物品灰塵進(jìn)行吹淋,達(dá)到落塵的效果。送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板。
2、風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)系統(tǒng)流程圖
系統(tǒng)采用的是全新風(fēng)空調(diào)箱 FFU 系統(tǒng):
<1>全新風(fēng)空調(diào)箱結(jié)構(gòu)
<2>FFU:(FANFILTERUNIT)即風(fēng)機(jī)和過濾器
千級區(qū)過濾器采用HEPA,過濾效率99.997%,百級區(qū)過濾器采用ULPA,過濾效率99.9995%。
3、水系統(tǒng)水系統(tǒng)流程圖
冰水系統(tǒng)分為一次側(cè)和二次側(cè).
一次側(cè)冰水水溫7-12 度,供給空調(diào)箱和風(fēng)機(jī)盤管,二次側(cè)冰水12-17度供給干盤管系統(tǒng).一次側(cè)冰水和二次冰水為兩個(gè)不同的回路,之間由板式換熱器連接.
板式換熱器原理
干盤管:不結(jié)露的盤管,因凈化車間溫度在22 度,其溫度12 度左右,故7 度冰水不能直接進(jìn)入凈化車間,所以進(jìn)干盤管的冰水溫度在12-14 度.
凈化車間
由于我國電子行業(yè)與水平差距較大,隨著經(jīng)濟(jì)發(fā)展不斷加快,先進(jìn)技術(shù)不斷進(jìn)入我國。因此,生產(chǎn)工藝技術(shù)的更新,可謂日新月異,潔凈工程設(shè)計(jì)必須要適應(yīng)這么快的變化節(jié)奏。
電子行業(yè)潔凈室的冷負(fù)荷比其他行業(yè)的潔凈室大很多,單位冷負(fù)荷達(dá)400~500W/㎡很常見。由于冷負(fù)荷大,一般情況下,冬季也需要供冷,這是電子行業(yè)的特點(diǎn)。
電子行業(yè)生產(chǎn)工藝過程產(chǎn)生的有毒有害氣體種類繁多,且量也大,所以需要的排風(fēng)量和新風(fēng)量也大。新排風(fēng)的節(jié)能措施也是行業(yè)特點(diǎn)之一,排放前要做處理,使排風(fēng)負(fù)荷環(huán)保要求。
電子行業(yè)生產(chǎn)工藝有抗靜電、抗微振的要求,并且大宗氣體和特種氣體種類多,對純度和潔凈度要求高。