西青芯片廠設計公司承諾守信 天津華一凈化工程

室內面積達24m2,其工作潔凈度達1000級

室內面積達24m2 ,其工作潔凈度達1000 級,在局部2m2 的光刻工藝區、凈化工作臺以及凈化涂膠機,工作潔凈度達100 級。室內用于顯影及清洗器件的高純水,是由設在室外的潔凈水循環系統引入,該系統以去離子水為原水,經精密過濾、紫外線殺菌及離子交換,極大提高了水質純度,其輸出水質電阻率≥15MΩ。在工作人員健康保障方面,超凈室設有空調、凈化排風系統。涂膠臺及電鍍腐蝕工作臺設置了獨立的對外排風系統,從而也降低了環境污染。空調系統保障了室內濕度≤60 % ,工作溫度保持18 ℃—25 ℃。室內循環凈化送風系統以及光刻工作區層流罩循環凈化系統為室內潔凈度提供了保障。

潔凈廠房的工藝平面布置

潔凈廠房的工藝平面布置：① 凈室（區）內只布置必要的工藝設備，以及有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室。② 有空氣潔凈度要求的潔凈室（區）應靠近空氣調節機房；空氣潔凈度要求嚴格的工序應布置在上風側；易產生污染的工藝設備應布置在靠近回風口位置。③ 充分考慮大型設備的安裝運維路線，預設安裝口和檢修口。④ 設置氣閘室、傳遞窗；單獨的物料入口。⑤ 車間內各項固定技術設施（送風口、照明器、回風口、管線等）的布置應優先考慮凈化空調系統的要求。

食品廠凈化車間特別設計的房間

食品廠凈化車間是指在一定空間范圍內，將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內的工程學科。食品廠凈化車間所特別設計的房間，不論外在空氣條件如何變化，室內均具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。氣流→初效凈化→加濕段→加熱段→表冷段→中效凈化→風機送風→管道→凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化重復以上過程，即可達到凈化目的。