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發(fā)布時間:2020-12-13 09:27  
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常用的光學鍍膜有哪些?
二,光學薄膜
減反射膜是應用廣、產(chǎn)量大的一種光學薄膜,因此,它至今仍是光學薄膜技術中重要的研究課題,研究的重點是尋找新材料,設計新膜系,改進淀積工藝,使之用少的層數(shù),簡單、穩(wěn)定的工藝,獲得盡可能高的成品率,達到理想的效果。對激光薄膜來說,減反射膜是激光損傷的薄弱環(huán)節(jié),如何提高它的破壞強度,也是人們關心的問題之一。
反射膜
它的功能是增加光學表面的反射率。反射膜一般可分為兩大類,一類是金屬反射膜,一類是全電介質(zhì)反射膜。此外,還有把兩者結合起來的金屬電介質(zhì)反射膜。
一般金屬都具有較大的消光系數(shù),當光束由空氣入射到金屬表面時,進入金屬內(nèi)部的光振幅迅速衰減,使得進入金屬內(nèi)部的光能相應減少,而反射光能增加。消光系數(shù)越大,光振幅衰減越迅速,進入金屬內(nèi)部的光能越少,反射率越高。人們總是選擇消光系數(shù)較大,光學性質(zhì)較穩(wěn)定的那些金屬作為金屬膜材料。在紫外區(qū)常用的金屬薄膜材料是鋁,在可見光區(qū)常用鋁和銀,在紅外區(qū)常用金、銀和銅,此外,鉻和鉑也常用作一些特種薄膜的膜料。由于鋁、銀、銅等材料在空氣中很容易氧化而降低性能,所以必須用電介質(zhì)膜加以保護。常用的保護膜材料有一氧化硅、氟化鎂、二氧化硅、三氧化二鋁等。金屬反射膜的優(yōu)點是制備工藝簡單,工作的波長范圍寬;缺點是光損耗大,反射率不可能很高。為了使金屬反射膜的反射率進一步提高,可以在膜的外側(cè)加鍍幾層一定厚度的電介質(zhì)層,組成金屬電介質(zhì)反射膜。需要指出的是,金屬電介質(zhì)反射膜增加了某一波長(或者某一波區(qū))的反射率,卻破壞了金屬膜中性反射的特點。
真空鍍膜機濺射工藝
真空鍍膜機濺射工藝主要用于真空鍍膜機濺射刻蝕和薄膜沉積兩個方面。濺射刻蝕時,被刻蝕的材料置于靶極位置,受Ar離子的轟擊進行刻蝕。刻蝕速率與靶極材料的濺射產(chǎn)額、離子流密度和濺射室的真空度等因素有關。真空鍍膜機濺射刻蝕時,應盡可能從真空鍍膜機濺射室中除去濺出的靶極原子。常用的方法是引入反應氣體,使之與濺出的靶極原子反應生成揮發(fā)性氣體,通過真空系統(tǒng)從濺射室中排出。沉積薄膜時,濺射源置于靶極,受Ar離子轟擊后發(fā)生濺射。如果靶材是單質(zhì)的,則在襯底上生成靶極物質(zhì)的單質(zhì)薄膜;若在濺射室內(nèi)有意識地引入反應氣體,使之與濺出的靶材原子發(fā)生化學反應而淀積于襯底,便可形成靶極材料的化合物薄膜。通常,制取化合物或合金薄膜是用化合物或合金靶直接進行濺射而得。在濺射中,濺出的原子是與具有數(shù)千電子伏的高能離子交換能量后飛濺出來的,其能量較高,往往比蒸發(fā)原子高出1~2個數(shù)量級,因而用濺射法形成的薄膜與襯底的粘附性較蒸發(fā)為佳。
若在濺射時襯底加適當?shù)钠珘海梢约骖櫼r底的清潔處理,這對生成薄膜的臺階覆蓋也有好處。另外,用真空鍍膜機濺射法可以制備不能用蒸發(fā)工藝制備的高熔點、低蒸氣壓物質(zhì)膜,便于制備化合物或合金的薄膜。濺射主要有離子束濺射和等離子體濺射兩種方法。離子束濺射裝置中,由離子槍提供一定能量的定向離子束轟擊靶極產(chǎn)生濺射。離子槍可以兼作襯底的清潔處理和對靶極的濺射。為避免在絕緣的固體表面產(chǎn)生電荷堆積,可采用荷能中性束的濺射。中性束是荷能正離子在脫離離子槍之前由電子中和所致。離子束濺射廣泛應用于表面分析儀器中,對樣品進行清潔處理或剝層處理。由于束斑大小有限,用于大面積襯底的快速薄膜淀積尚有困難。等離子體真空鍍膜機濺射也稱輝光放電濺射。產(chǎn)生濺射所需的正離子來源于輝光放電中的等離子區(qū)。靶極表面必須是一個高的負電位,正離子被此電場加速后獲得動能轟擊靶極產(chǎn)生濺射,同時不可避免地發(fā)生電子對襯底的轟擊。
包裝卷繞真空鍍膜設備
HCPAK系列卷繞鍍膜設備是用于鋁屏障包裝應用的卷對卷金屬化解決方案。在利潤率較低的行業(yè)中,的生產(chǎn)效率,再加上的產(chǎn)品性能,是應對未來挑戰(zhàn)的答案。
通過將傳統(tǒng)的鋁涂層沉積到寬范圍的柔性基板上增強光學、保護和阻隔性能。HCPAK系列覆蓋了1100~3850mm的寬幅,以及所有常見的塑料薄膜和紙張基材,針對2500mm以上大寬幅基材以不同的速度實現(xiàn)輸出,比傳統(tǒng)系統(tǒng)提高25%以上的處理速度。
特點:高正常運行時間,因為一個強大和服務友好的機器概念由于強大的等離子預處理,產(chǎn)品一致性高,阻隔性能提高由于鋁蒸發(fā)器源的優(yōu)化配置,在層均勻性方面具有的產(chǎn)品質(zhì)量簡化操作和優(yōu)化設計,便于操作的設備卷繞系統(tǒng)的創(chuàng)新設計概念使卷繞路徑能夠靈活地適應基板和應用的個別要求。由于穩(wěn)健的機器設計,正常運行時間很長