德國萊寶羅茨真空泵真空系統設計 惠州明勝機電

應用范圍

根據設計，SOGEVAC泵可用來抽空穩定氣體，其工作范圍為從大氣壓到泵極限真空之間的粗真空范圍。

警告

SOGEVAC泵不能抽空侵蝕性、腐蝕性的、或氣體。

若存在有侵蝕性的，的，腐蝕的或氣體，請與LEYBOLD公司聯系。

根據設計，這些泵不能在或環境下工作。 若有問題，請與LEYBOLD公司聯系。

當心

泵不適合抽空液體或含有灰塵的介質。必須引入相應防護措施。

如有問題，請與LEYBOLD公司聯系。

在抽空氧含量高于大氣（>20%）的氣體或其它高活性氣體之前，泵必須改型，除油，然后必須使用特殊油（例如PFPE）。

采取相應安全措施。

請與LEYBOLD聯系以獲取有關重要的安全說明書。

1.2 標準規格

處于備用狀態的泵，電機隨泵一起提供。隨泵一起提供的還有GS77或等同的油已注入泵內。

連接口由塑料保護蓋封住。在啟動泵之前要去除這些塑料保護蓋。

關于真空泵漏氣檢測方法

   真空泵在使用過程中如發現有漏氣情況首先應當辨別是:真空泵漏還是管道漏。

   1、檢測真空泵的方法：將真空泵與其管道分離，用真空計直接測量真空泵進氣口，如果泵真空度達到使用標準就排除了泵漏氣的可能；

   2、檢測管道的方法：把管道或管道某一段取下，將其中一頭接在不漏氣的泵上，另一頭用真空計測量，通過這個方法檢測能夠分清漏氣點。

近年來, 受半導體制造、液晶注入、太陽能電池生產、電子器件等新興行業和薄膜制備、化工、制藥等傳統行業的帶動, 多級羅茨干泵作為核心裝備之一, 其研制和生產越來越受到重視。多級羅茨干泵滿足了IC 裝備制造業的工作溫度高、長期運轉穩定、噪聲低、維護簡單、清潔無油等眾多要求, 是很有發展前景的一種干式真空泵。當齒輪旋轉時，熔體即進入吸入腔兩齒輪的齒槽中，隨著轉動，熔體從兩側被帶入排出腔，齒輪再度嚙合，使齒槽中的熔體被擠出排出腔，壓送到出口管道。但是, 除了加工及裝配要求精度高、加工難度大、一次性投入昂貴等制約因素外, 其設計理論和制造工藝亟待提高, 尤其包括羅茨型線的改善、加工成本的降低、間隙的確定、泄漏量的計算、泵內的熱力學分析、轉子表面涂層、噪聲振動等難點問題, 制約了多級羅茨干泵研制和生產。