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發布時間:2021-04-10 22:14  
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氦質譜檢漏儀的真空系統
氦質譜檢漏儀的真空系統提供質譜室正常工作所需要的真空條件,不同型號的氦質譜檢漏儀其真空系統有較大的差別。
1、檢漏閥:接在質譜室和被檢件之間的管道上。有些氦質譜檢漏儀采用節流閥,控制流入質譜室的氣體流量。
2、真空規:一般采用冷陰極磁控放電直空規(潘寧規,又稱冷規)來測量質譜室中的壓力。也有用電阻規或熱偶規測量被檢件的預抽壓力和系統的前級壓力的。
3、標準漏孔:一般氦質譜檢漏儀內都附有標準漏孔(大多為薄膜滲氦型),用它來校準氦質譜檢漏儀的Z小可檢漏率和對氦質譜檢漏儀輸出指示進行定標。
氦質譜檢漏儀使用條件
氦質譜檢漏儀電源電壓220V頻率50HZ額定功率2000W。儀器應安裝在符合儀器使用的環境要求的場所,特別是氦質譜檢漏儀的電源插座,應符合要求,要有良好的地線,左右要留有30cm的通風間距。
放置好氦質譜檢漏儀,以避免儀器有傾斜或傾倒的危險。氦質譜檢漏儀的底部有安裝孔,可以將其固定在桌子或支架上。在儀器運行前要確保真空泵中的機械泵油是否足夠,機械泵油必須用的針對機械泵型號的油。
氦質譜檢漏儀應用行業
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