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發(fā)布時(shí)間：2021-08-24 08:42

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真空泵的技術(shù)術(shù)語(yǔ)

真空泵除主要特性，極限壓力，流量和抽氣速率之外，尚有一些名詞術(shù)語(yǔ)表達(dá)泵的有關(guān)性能和參數(shù)。

1、啟動(dòng)壓力。泵無(wú)損壞啟動(dòng)并有抽氣作用時(shí)的壓力。

2、前級(jí)壓力。排氣壓力低于101325Pa的真空泵的出口壓力。

3、壓縮比。泵對(duì)給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。

4、何氏系數(shù)。泵抽氣通道面積上的實(shí)際抽氣速率與該處按分子瀉流計(jì)算的理論抽氣速率之比。

簡(jiǎn)析真空技術(shù)的應(yīng)用與發(fā)展

冶金工業(yè)：冶金工業(yè)需用到的真空技術(shù)包括鋼液真空處理、真空熔煉、真空感應(yīng)熔煉、感應(yīng)殼熔煉、真空電弧重熔等。其中，真空鋼液處理是冶金工業(yè)很重要的一方面。這項(xiàng)技術(shù)主要應(yīng)用于原子能工業(yè)，宇宙空間技術(shù)、海洋鉆探技術(shù)、燃?xì)獍l(fā)動(dòng)機(jī)技術(shù)、汽車工業(yè)、飛機(jī)制造業(yè)、高速列車等高技術(shù)工業(yè)中，對(duì)鋼中的某些元素進(jìn)行控制和處理，對(duì)鋼鐵材料的壽命、可靠性提出了越來(lái)越高的要求。目前各種應(yīng)用行業(yè)擁有現(xiàn)代化的真空處理設(shè)備，大大降低了鋼中氮、氫、氧等雜質(zhì)的含量，處理水平也不斷提高。美、日、德等國(guó)已經(jīng)將此項(xiàng)技術(shù)作為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，并對(duì)其軸承鋼、電工用鋼和大型鍛件采用１００％的真空脫氣處理，完成現(xiàn)代化鋼鐵工業(yè)的基本要求。

　　電子與微電子工業(yè)：微電子技術(shù)要求電子元器件和電路的尺寸越來(lái)越小，集成度要求越來(lái)越高。這與真空技術(shù)的應(yīng)用密不可分，特別是超大規(guī)模集成電路的微細(xì)加工技術(shù)，其幾何圖形結(jié)構(gòu)的形成、超薄層生長(zhǎng)技術(shù)、粒子束注入技術(shù)都需要高質(zhì)量、清潔的真空環(huán)境，可見(jiàn)其發(fā)展對(duì)真空技術(shù)、裝備的依存性。目前，日本真空廠商的銷售額中60%左右是面向電子工業(yè)，而當(dāng)今的超大規(guī)模集成電路大約有３／４的工序需要有真空條件。

　　機(jī)械制造行業(yè)：這是一個(gè)帶動(dòng)性強(qiáng)、帶動(dòng)作用廣的產(chǎn)業(yè)，目前歐債危機(jī)的陰霾仍未散去，各國(guó)積極將機(jī)械制造產(chǎn)業(yè)作為提振經(jīng)濟(jì)的重點(diǎn)。它的技術(shù)應(yīng)用一般集中在真空熱處理、真空釬焊、真空涂層刀具等傳統(tǒng)領(lǐng)域。真空熱處理是指將真空技術(shù)與熱處理技術(shù)緊密結(jié)合的新型熱處理技術(shù)。它對(duì)工具、模具和精密耦件的處理可起到提高使用壽命、加速化學(xué)熱處理的吸附和反應(yīng)過(guò)程等特點(diǎn)。另外，它本身工藝操作靈活、無(wú)公害的特點(diǎn)成為行業(yè)常用的處理手段。