英國愛德華真空泵進口真空泵配件“本信息長期有效”

系列油封旋片泵 功能，同時具備高真空和高吞吐量性能，超低的噪音級別和卓越的氣囊裝置，使其成為廣泛適用于各種應用和環境的理想產品。這些泵的抽速范圍為 3 至 12 m3/hr。

型號：RV3、RV5、RV8、RV12

●中型 EM 系列泵是結實耐用的機械油封泵，抽速為 18 和 28  m3/hr。這些泵結構緊湊，使用時非常安靜，具備先進的潤滑回路，可靠性高，配有各種附件，可以滿足特定的應用需求。

型號：E1M 18/28

●EM 系列泵是結實耐用的機械油封泵，抽速為 0.7 到 275 m3/hr（30 到 206 CFM）。這些泵結構緊湊，使用時非常安靜，具備先進的潤滑回路，可靠性高，配有各種附件，可以滿足特定的應用需求。

E2M 0.7/1.5/18/28/40/80/175/275

愛德華真空泵維修保養要求

運行中的維護

各部件必須在潤滑油的潤滑下運行。

定期檢查電動機電流值，不得超過電動機額定電流

泵長期運行后，由于機械磨損，使機組噪聲級振動增大時，應停機檢查，必要時可更換易損零件及軸承

，機組大修期一般為一年。

機械密封維護

機械密封潤滑應清潔無固體顆粒

嚴禁機械密封在干磨情況下工作。

起動前應光盤東泵幾圈，以免突然起動造成石墨環斷裂損壞。

啟動前應關盤動泵幾圈，以免濡染啟動造成石墨環斷裂損壞。

四、愛德華真空泵維修故障原因及排除方法。

故障現象可能產生的原因排除方法真空不足旋片損壞，缸體磨損，轉子與缸體切點間隙變異更換旋片，修復岡日，調整相應間隙流量不足管道不通暢，泵浦沉積油垢，雜物，電壓降低清理輸送管道，清潔泵浦，調整電壓功率過大超過額定流量使用，吸程過高，泵軸承磨損調節流量關小出口閥門，降低吸程，更換軸承雜音振動管路支撐不穩，潤滑油混有氣體，產生汽蝕，軸承損壞，電動機超載發熱運行穩固管路，提高吸入壓力排氣，降低真空度，更換軸承，調整按電動機發熱方法排除電動機發熱流量多大，超載運行，碰擦，電動機軸承損壞，電壓不足關小出口閥，檢查排除，更換軸承，穩壓泵浦漏油機械密封磨損，泵體有砂孔或破裂，密封面不平整，安裝螺栓松動更換密封套件，修補泵浦，修正密封面端面，緊固螺栓

用手盤動泵以使潤滑油液進入機械密封端面

起動

全開進口閥門

關閉出口管路閥門

起動電動機，觀察泵運行是否正確

調節出口閥開度至所需工況，如用戶在泵出口裝有流量計或壓力表，應通過調節出口閥門開度使泵在性

能參數表所列的額定點上運行，并通過調節出口閥門開度，測量泵的電動機電流，使電動機在額定電流

內運行，否則將造成超負荷運行致使電動機燒壞。調整出口閥門開啟度與管道工況有關

檢查軸封泄漏情況

檢查電動機，軸承處唯獨應小于等于70度

停止

關閉吐出管路閥門

停止電動機

閉進口閥門

如長期停機，應將泵內潤滑油放盡。

愛德華iH系列真空泵維修

Edward iH series vacuum pump repair

維修型號：iH80、iH600、iH1000等      愛德華是半導體和平板顯示器工藝方面的供應商，集工藝實現技術，材料和服務于一體。愛德華真空泵經長時間使用，已被正面其達到高運行標準。通過延長使用壽命、提高正常運行時間、增加產量，使其擁有了可靠的高性能，同時又具有占地面積小，擁有成本低等優點。

     針對各種困難工藝，例如會生成顆粒、可凝結和腐蝕性副產品的PECVD等，IH系列提供極高的可靠性。iH干泵系列的峰值抽速從80到1800立方米/小時，其中iH1800干泵是專為高排量應用而設計的。