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磷酸或正磷酸，化學(xué)式H3PO4，分子量為97.9724，是一種常見的無機(jī)酸，是中強(qiáng)酸。由五氧化二磷溶于熱水中即可得到。正磷酸工業(yè)上用硫酸處理磷灰石即得。磷酸在空氣中容易潮解。加熱會(huì)失水得到焦磷酸，再進(jìn)一步失水得到偏磷酸。磷酸主要用于制藥、食品、肥料等工業(yè)，也可用作化學(xué)試劑。無色透明的粘稠狀液體。經(jīng)高溫加熱便失水成焦磷酸和偏磷酸，長時(shí)間受冷即生成結(jié)晶，有腐蝕性，易吸濕，密封保存。

工業(yè)磷酸屬于危險(xiǎn)化學(xué)品。

工業(yè)磷酸純品為無色透明狀液體或斜方晶體，無臭，味很酸。主要用于電鍍工業(yè)、工業(yè)、磷酸鹽工業(yè)及冶金工業(yè)等。磷酸蒸汽對(duì)皮膚有較強(qiáng)的腐蝕作用，工作人員注意保護(hù)呼吸和皮膚。

危險(xiǎn)化學(xué)品目錄，由安全生產(chǎn)監(jiān)督管理部門會(huì)同工業(yè)和信息化、環(huán)境保護(hù)、衛(wèi)生、質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫、交通運(yùn)輸、鐵路、民用航空、農(nóng)業(yè)主管部門，根據(jù)化學(xué)品危險(xiǎn)特性的鑒別和分類標(biāo)準(zhǔn)確定、公布，并適時(shí)調(diào)整。

因?yàn)楣I(yè)磷酸有腐蝕性，所以屬于危險(xiǎn)化學(xué)品。

一、電子級(jí)磷酸用途分析：

1、用于基片涂膠前的清洗

2、用于光刻過程中的蝕刻及后去膠；

3、用于硅片本身制作過程中的清洗及絕緣膜蝕刻、半導(dǎo)體膜蝕刻、 導(dǎo)體膜蝕刻、 有機(jī)材料蝕刻等

二、電子級(jí)磷酸制備工藝

1、用高純磷制備電子級(jí)磷酸的工藝

2、用高純制備電子級(jí)磷酸的工藝

3、用三氯氧磷制備電子級(jí)磷酸的工藝

四、電子級(jí)磷酸質(zhì)量等級(jí)

E1為普通電子級(jí)磷酸

E2為高純電子級(jí)磷酸