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發布時間:2021-01-01 04:12  
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水環式真空泵工作原理如原理圖:在泵體中裝有適量的水作為工作液。當葉輪按圖中指示的方向順時針旋轉時,水被葉輪拋向四周,由于離心力的作用,水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環。水環的上部分內表面恰好與葉輪輪轂相切,水環的下部內表面剛好與葉片頂端接觸(實際上葉片在水環內有一定的插入深度)。
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(3)高真空泵
極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵歸屬于高真空泵。廣泛的高真空泵有各式各樣擴散泵及分子泵等。
(4)超高真空泵
極限壓力低于10-5Pa的真空泵歸屬于超高真空泵。超高真空泵重要有各式各樣離子泵、低溫泵等。
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用于較高真空度的羅茨泵不能直接排大氣,因此串聯二級的羅茨泵仍需要一個機械泵或水環泵后級。羅茨泵串聯機組,有兩種配置方式,其一是羅茨泵—羅茨泵—機械泵;其二是羅茨泵—羅茨泵—水環泵。兩種方式均是以一羅茨泵為主泵,而另一羅茨泵為前級,兩羅茨泵抽速關系由經驗確定