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高純 氣廣泛應用 于各行業 和工業生產 中，通常 用空氣分離工藝 來制取 ，用氣態 性高純氣體通過 管道 或鋼瓶 收集 容器 輸送 給用戶 ，用槽車 運輸 給用戶 。 對于 高純氣體 管道 輸送 工藝 ，貿易 轉換 計量 通常 采用 氣體流量計 ，其公稱 通徑 在50 毫米 至數百 毫米 之間 。 大多數 交接點 交接點 數量 大，結算 額高 ，往往 是由供需雙方 各裝一套 流量計 ，從而 做到 公平 計量 ，萬無一失 。
對于 高純氣體 流量計 的選擇 ，由于 測量 對象 的特點 和傳統 習慣 ，多選用 標準 孔板流量計 ，此類 流量計 有以下 特點 ：1)工作 穩定 ，抗干擾能力 強，維修 更換 簡單 方便 。2)流量測量 范圍廣 。測量 的準確性 可以 滿足 氣體 交易 交接 的要求 。

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便于 計量檢定 。 大多數 的檢定 方法 都是 幾何 檢定 ，方法 簡單 ，成本 較低。 有些 供方 (或需方 )要求 在通過 幾何 法檢定 后，再用實流法進行 一次 檢定 。 經驗 證，1套流量計 各環節 均合格 ，實流檢定 也能 合格 。5)價格 與科里奧利質量流量計 相比 要便宜很多 。6)量程 比窄是孔板流量計 的一大 缺點 ，但近幾年來 ，雙量程 孔板流量計 的發展 ，可以 將量程 比擴大 到33 倍，并達到 1.0 %的不確定度 ，彌補 了這一 缺陷 。在采用 差壓式流量計 測量 蒸汽流量時，必須 把氣相差 壓信號 轉化 為凝塊 。
并且 由于 高純氣體 無塵 、無水滴 、無油 污染 ，為高純氣體 的測量 創造 了優越 的條件 。



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熱式氣體質量流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優良、可靠性高的技術。一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個RTD被置于介質中時，其中速度傳感器被加熱到環境溫度以上的一個恒定的溫度，另一個溫度傳感器用于感應介質溫度。

能源計量是科學管理能源，實現節能降耗，提高經濟效益的重要手段。流量儀表是能源計量儀表的重要組成部分，水、人工燃氣、、蒸汽和油品這些常用的能源都使用著數量極其龐大的流量計，它們是能源管理和經濟核算不可缺少的工具。

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熱分布式TMF可測量低流速（氣體0.02~2m/s）微小流量；浸入式TMF可測量低~中偏高流速(氣體2~60m/s)，插入式TMF更適合于大管徑。熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不必用這些氣體專門標定，直接就用空氣標定的儀表，實驗證明差別僅2%左右；用于Ar、He等單原子氣體則乘系數1.4即可；用于其他氣體可用比熱容換算，但偏差可能稍大些。氣體的比熱容會隨著壓力溫度而變，但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數。熱式質量流量計響應慢。

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熱分布式儀表使用口徑和流量均較小，較多應用于半導工業外延擴散、石油化工微型反應裝置、鍍膜工藝、光導纖維制造、熱處理淬火爐等各種場所的氫、氧、氨、燃氣等氣體流量控制，以及固體致冷中固體蒸發等累積量和閥門制造中泄漏量的測量等。

通常在主流管道上裝孔板等節流裝置或均速管，分流部分氣體到流量傳感器進行測量。然而在低流速測量時因受管道內氣體對流的熱流影響，使安裝姿勢顯得重要。因此在低和非常低流速流動時要獲得測量大部分制造廠會對此就安裝姿勢影響和安裝要求作出說明。例如LDG-□DB系列為減少環境氣氛對流傳熱影響

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熱氣體質量流量計是利用熱傳導原理測量流量的儀器。該儀器通過恒溫差停止測量氣體的質量流量。因此介質溫度與介質的比熱是關鍵參數。流量計轉換器中儲存了60多種常規氣體比熱轉換系數，設置為基體單一潔凈氣體。但在現場實際測量中，介質純度并不那么高。雖然流量計的設計精度沒有下降，但測量值可能與實際值有一定的偏差，這也是為什么熱氣體質量流量計適合測量干氣體的原因；介質溫度是熱氣體質量流量計的一大難點。工作時，需要將加熱探頭加熱到比介質溫度高50度的狀態。

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熱式氣體質量流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優良、可靠性高的技術。其典型傳感元件包括兩個熱電阻（鉑RTD），一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個RTD被置于介質中時,需掌握量變的地方都有流量測量的問題。流量和壓力、溫度并列為三大檢測參數。對于一定的流體，只要知道這三個參數就可計算其具有的能量，在能量轉換的測量中必須檢測此三個參數。流量儀表是過程自動化儀表與裝置中的大類儀表之一，它被廣泛適用于冶金、電力、煤炭、化工、石油、交通、建筑、輕紡、食品、醫藥、農業、環境保護及人民日常生活等國民經濟各個領域，是發展工農業生產，節約能源，改進產品質量

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熱式氣體質量流量計是利用傳熱原理檢測流量的儀表，熱式氣體質量流量計有一體式和插入式兩種規格。

熱式氣體質量流量計管道式的可測量低流速氣體等微小流量，插入式更適合于大管徑。熱式質量流量計無活動部件，而且性能相對可靠

把分母的溫度差恒定，通過實時測量氣體帶走熱量H的大小來得到氣體的質量流量，這就是目前市場上主流的恒溫差熱式。如果把分子的熱量H恒定，實時測量溫度差的大小來得到氣體質量流量，就是恒功率熱式。

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熱式質量流量計加熱的速度傳感器封裝于不銹鋼管探針端部，并在傳感器和不銹鋼管內壁之間灌注混合物。該混合物必須電絕緣的同時又保證較小的熱阻，一般為環氧樹脂、陶制水泥、耐熱膏脂或者氧化、氧化等。介質的攜熱(流速)與加熱所需的供電電流成正比，因此介質溫度與介質的比熱是關鍵參數。流量計轉換器中儲存了60多種常規氣體比熱轉換系數，設置為基體單一潔凈氣體。但在現場實際測量中，介質純度并不那么高。雖然流量計的設計精度沒有下降,熱式質量流量計廣泛應用于環保和工業中。熱式質量流量計一般在測量氣體時必須是干燥的氣體，不能含有水分。

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熱分布式 大部分熱分布式TMF的流量傳感器可任何姿勢（水平、 垂直或傾斜）安裝，有些儀表只要安裝好后在工作條件壓力、溫度下作電氣零點調整。嚴重威脅著人類的生存環境。21世紀，國家把可持續發展列為國策，環境保護將成為重中之重。要控制大氣、水的污染，必須加強管理，而治理的基礎是定量控制。將能源劃分為一次能源(煤、、煤層氣、和)、二次能源(電力、焦炭、人工煤氣、成品油、液化氣、蒸汽)和載能工質(壓縮空氣、氧、氮、氫、水)等。能量計量是對能源進行科學管理,
另一個傳感器加熱到高于測量的氣體溫度。氣量增加了，加熱傳感器被帶走的熱量也增加了。

空氣流量計是將吸入的空氣流量轉換成電信號的儀器。空氣流量計的優點是壓力損失小，可測流量范圍大。

熱式質量流量計一般在測量氣體時必須是干燥的氣體，不能含有水分。流體可能產生的沉積、結垢和凝結會影響儀器的性能。熱式質量流量計測量氣體時，流體溫度的變化不像體積流量計隨氣體體積的變化而變化，不影響熱式質量流量計的測量。

一種用來測量流體溫度，一種用來測量流體溫度，當流體流動時，兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關系，再通過微電子控制技術將這種關系轉換為線性輸出，用于測量流量信號。

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一種用來測量流體溫度，一種用來測量流體溫度，熱分布式儀表使用口徑和流量均較小，較多應用于半導工業外延擴散、石油化工微型反應裝置、鍍膜工藝、光導纖維制造、熱處理淬火爐等各種場所的氫、氧、氨、燃氣等氣體流量控制，

熱氣體質量流量計是利用熱傳導原理測量流量的儀器。該儀器通過恒溫差停止測量氣體的質量流量。熱氣體質量流量計有很多優點。畢竟它們的體積比較小，裝置也很方便，測量也很準確。熱式氣體質量流量計在裝置時有很多事項需要注意。